ズース・マイクロテック株式会社

ズース・マイクロテック株式会社は半導体製造機器に関するトータルソリューションプロバイダーです。ズース・マイクロテック株式会社の露光装置の特徴や製品例を紹介します。

ズース・マイクロテック株式会社の主な露光装置

MA300 Gen3マスクアライナー

ズース・マイクロテック株式会社の「MA300 Gen3マスクアライナー」は、300mmおよび200mm径ウェハー用に開発された自動露光装置であり、マスクアライナーとして大量生産環境における利用を想定して設計されています。独自開発された3D専用アライメントプラットフォームや0.5μmの上面アライメントなどを採用することで。高精度・高品質の作業を追求し、さらに赤外線アライメントをオプション利用すればIR透過性のある薄型ウェハーにも対応可能です。

MA/BA Gen4-Series マスク＆ボンドアライナー

「MA/BA Gen4-Series」はセミオート式のマスクアライナー/ボンドアライナーであり、製品開発や学術研究、小規模生産など様々なニーズや場面に導入できる露光装置です。また、大量生産に対応させることもできます。

露光量や露光時間を自動制御することでプロセスパラメータを最適化しつつ、エンジニアの操作によってフレキシブルな操作を実現できることが強みです。また作業員の安全性やメンテナンス性の向上を目的としてLED光源オプションも利用できます。

ズース・マイクロテック株式会社の露光装置はどんな人におすすめ？

ズース・マイクロテック株式会社の露光装置は様々な製品がシリーズ展開されており、小規模環境の研究開発分野から、大規模工場などにおける大量生産まで、幅広い選択肢とカスタマイズ性があります。また、従来の水銀灯方式から独自の光源や露光方式などの開発にも取り組んでおり、メンテナンス性の向上や属人性の解消を考えたい企業などにもおすすめです。

ズース・マイクロテック株式会社はどんな露光装置の会社・メーカー？

ズース・マイクロテック株式会社はドイツで誕生した半導体製造分野や光学機器分野におけるトータルソリューションプロバイダーであり、日本では神奈川県横浜市に国内拠点を設置しています。

独自技術の開発や新方式の追求などにも積極的に取り組んでおり、国際的な露光装置ニーズに対して多角的に向き合っていることが特徴です。

ズース・マイクロテック株式会社の会社情報