ここでは、山下電装株式会社の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 紫外線 |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
紫外線領域の主波長を波長選択ミラーで選択照射できる、高い機能性と利便性を備えた紫外線露光装置です。ミラーの交換が行える構造をもつほか、光源は照射均一性を持つ紫外線、ランプ交換時はランプを点灯せずに光軸調整ができるなど安全性も確保されています。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 水銀キセノンランプ |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
水銀キセノンランプを光源とする偏向露光装置です。「紫外線コールドミラー」と「光学インテグレータ」の使用により、均一性に優れた一定の偏光光のみを選択して照射することができます。オプションの高透過率干渉フィルターを装着すれば、照射波長の選択も可能です。照射面積・照射強度は要相談。
山下電装株式会社では、紫外線露光光源の露光装置、水銀キセノンランプを光源とする偏向露光装置など、特徴の異なる紫外線露光装置を提供しています。紫外線露光光源の露光装置は、照射面に均一に照射波長を選択できるのが利点。偏向露光装置は、一定の偏光光のみを照射できるのが特徴です。いずれもオーダーメイド光源メーカーを自任する山下電装株式会社の光学技術が生かされており、高性能な紫外線照射装置を必要とする方におすすめします。
山下電装株式会社は、東京都八王子市北野台に本社を構える光源機器メーカーです。紫外線露光機器をはじめ、ソーラシミュレータ、キセノン分光器光源、光学フィルター、光学ミラーなど光源機器の開発、シリコンウエハー表面欠陥検査装置、シリコンウエハーエッジ検査装置など半導体欠陥検査装置の開発・製造・販売を手がけています。
当社の強みは、自動車・医療・航空宇宙・バイオなど、あらゆる分野で応用可能な光技術を有していることです。自社開発のみならず共同開発の成果も含めて、これまで蓄積した多彩な光源/電源技術を駆使して、新製品の開発や高度な品質の製品化を提供することができます。
社名 | 山下電装株式会社 |
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本社所在地 | 東京都八王子市北野台5-25-10 |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | 042-650-7121(事業所/営業部) |
公式HPのURL | https://yamashitadenso.co.jp/ |
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