日本カンタム・デザイン株式会社

ここでは、日本カンタム・デザインの露光装置の特徴をご紹介します。

日本カンタム・デザインの主な露光装置

マスクレス露光装置 マイクロライターML family

卓上小型(最少モデル,底部面積70cm×60cm)で、手軽に高精度で高速にパターン試作ができるのが特徴です。DMD方式のマスクレス露光装置でフォトレジストに直接露光することも可能です。
オートフォーカス・ウエハ検査機能、対物レンズ自動交換機能が搭載されたML3 Baby Plus、0.6μm分解能を含むML3 Mesa、更にビジュアルマスクアライナー機能、除振台、温度安定化装置なども追加されているML3 Proなどの種類があり、各装置から上位機種へのアップグレードも現場でできるのが魅力です。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

日本カンタム・デザインの露光装置はどんな人におすすめ？

マスクレス露光装置 マイクロライターML familyの特徴は、小型でマスクレスであることです。パターンの種類が多い場合や、少量のパターン試作を行いたいときも、毎回マスクを作成せずスピーディに試作できます。
小ロットでの試作のパターンが多く、装置の設置を省スペースにしたい方におすすめです。

日本カンタム・デザインはどんな露光装置の会社・メーカー？

世界のハイテク技術商社

米国カンタム・デザイン社の日本法人としての役割を果たすと同時に、高温超電導材料の発見やレーザーでの微細加工や光通信への応用、ヒトゲノムの解析等の各分野において重要な役割を担う機器や技術を提供し続けています。豊富な専門知識と経験をバックグラウンドに、特徴のある製品の販売、パーツ見積もり、各種受託サービスなどのソリューションビジネスを展開しています。

日本カンタム・デザインの会社情報