ここでは、Nanoscribeの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
---|---|
波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 公式HPに記載なし |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
高性能・高精度なマスクレス・リソグラフィシステムです。2光子重合技術による高精度と柔軟性が特徴。また高速かつ正確な積層造形プロセスにより、設計反復サイクルの大幅な短縮やコストパフォーマンスの高い微細造形を実現します。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
---|---|
波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 公式HPに記載なし |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
ハイレベルなバッチ処理能力をもつ高精度3Dプリンティングツールです。マルチタレントな3Dプリンタとして、2光子重合(2PP)と独自プリンティング技術の融合により、様々な2.5D/3D形状の高速微細加工を実現。多様な基板と最大6インチのウェハに対応しています。
Nanoscribeでは2光子重合法を用いたリソグラフィシステム(露光装置)や高精細3Dプリンターを提供しているため、2次元から3次元の高精細フォトリソグラフィーを実現したい方におすすめです。2光子重合法とは、2次元のフォトリソグラフィー技術を3次元でも同様に実現する技術。光硬化樹脂に特定波長の光を照射することで立体造形物の出力が可能なほか、高速での3D微細加工や自動補正ルーチンによる高精度なレーザー出力制御と位置決めができます。
カールスルーエ(ドイツ)に本社を置く高精細光造形装置メーカーのNanoscribe。30ヵ国以上に3,000人(2021年8月調査時点)を超えるユーザーを有するマーケットリーダーとして、革新的な製品や技術・サービスを世界市場で提供。
Nanoscribeは2光子重合技術に力を入れており、リソグラフィシステム(露光装置)や高精細3Dプリンターなど2光子重合技術に基づく製品が豊富にあります。高度な技術やサービス、グローバルな販売網のほか、ハイテク化学技術研究所を有するのもNanoscribeの強みです。
社名 | Nanoscribe |
---|---|
本社所在地 | Nanoscribe GmbH, Hermann-von-Helmholtz-Platz 6, 76344 Eggenstein-Leopoldshafen, Germany |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | +49 721 981 980 0 |
公式HPのURL | https://www.nanoscribe.com/jp/ |
関連ページ
半導体のシリコン基板(ウエハ)などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム(MEMS)をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。