ここでは、大日本科研の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
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波長 | 最小露光線幅:3μm |
光源 | 365nm(typ.)LED |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
リーズナブルな価格設定が特徴的な露光装置です。日本国内向け参考価格として、手動ステージモデルは500万円(税不明)で、電動ステージモデルは900万円(税不明)で販売されています。大型ステージモデルも用意されていますが、価格は問い合わせが必要です。
大型の装置だと数千万円~数億円単位が必要となるため、通常、導入は簡単ではありません。その点を考えると、PALETの価格設定は挑戦的なほどリーズナブルといえるでしょう。背景にはネオアーク株式会社の「PALETを通じてフォトリソグラフィを身近なものにしていきたい」という願いと研究を加速する手助けをしたいという想いがあります。
マスクレス露光装置なのに、設置場所に困らない卓上型です。徹底的に小型化をして、A3サイズの接地面積を実現。マスクアライナを追加は要りません。フローティング構造により振動も抑えられ、防振台も不要、真空吸着用エア源を内蔵しています。
圧縮エアを取り除いたことで、机と100V電源さえあれば狭い実験室でも使えます。電動ステージモデルはステージドライバが付属。現象環境や感光防止環境はユーザの用意が必要です。
露光装置を導入しても、学生や部外者は使えず、一部の人間しか使えないという状況に配慮し、気軽に使える仕様にしています。ハードウェアとソフトウェアは技術者に依存せず、数時間の装置デモンストレーションだけでも基本操作を習得できるレベルです。
露光方式 | 直接露光 |
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波長 | 最小線幅:15μm(目標5μm) |
光源 | 375nm 半導体レーザ |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
直動3軸に加え、回転2軸の5軸ステージで3次元形状ワーク上の任意の点にレーザー入射角を一定に保持。自由に照射できるのが特徴的な露光装置です。最大5軸の同時補間動作に加えてフィードバック制御で等速度運動も実現しました。高精度のパターニングにも対応可能で、従来のXYZ直動ステージによる3次元形状ワークの露光点入射角の変化で、品質差が生まれにくくなっています。
非接触のためレジストにダメージを与えない、ワーク取付誤差の補正とパターニング中の焦点補正が可能です。観察用カメラでコントラスト方式オートフォーカスを、多点数で実施し、ワークの取付誤差を算出して補正します。
パターニング中は赤色レーザーの三角測量方式オートフォーカスを使います。パターニング中に生まれるフォーカス誤差を算出してリアルタイム補正。誤差の補正と焦点補正によるアシスト機能が、作業を楽にしてくれる装置です。
円柱外周へのパターニングに特化した円柱露光タイプもあります。ワークの芯だし機構を搭載しているため、回転ステージを対向に配置し、長いワークで起きるタレといった歪みを引っ張り抑制できるのが特徴であり強みです。
ネオアーク株式会社では、いずれもユーザー目線で造られたシンプルで分かりやすい「マスクレス露光装置PALET」と、新製品「3次元形状レーザー露光装置」を提供しています。
マスクレス露光装置PALETは“ユーザーフレンドリな装置”が特徴。設置スペースを気にしなくていい卓上型で、使い方は簡単、技術者には熟練度が要求されません。
一方の3次元形状レーザー露光装置は、文字通り3次元構造へのフォトリソグラフィが可能な次世代型の露光装置ですが、半導体レーザーによる直接露光を行うため、メタルマスクが不要であるなど時間短縮と予算低減に効果的、シンプルな操作性も実現しています。
といった具合に、ネオアーク株式会社の露光装置はユーザー目線に立った取り扱いのしやすい製品が特徴です。必要な機能を備え、なおかつ操作が簡単で定着しやすい露光装置をお探しの方におすすめします。
ネオアーク株式会社は、東京都八王子市に中野町に本社を構える、各種レーザー機器及びレーザー応用システムの総合メーカーです。1975年6月の創業以来、「レーザー及び光技術への限りなき挑戦を!」をモットーに、幅広い領域で用いられるレーザー機器、レーザー及び光特性応用機器、磁気光学特性評価装置、抵抗等の製造開発に取り組んでいます。
ネオアークの目標は、各種のレーザー技術を通して科学技術の発展と豊かな社会に貢献すること。その理念と成果は、ネオアーク製の露光装置「マスクレス露光装置PALET」や「3次元形状レーザー露光装置」において見事に結実しています。
参照元:ネオアーク公式(https://www.neoark.co.jp/company.html)
社名 | ネオアーク株式会社 |
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本社所在地 | 東京都八王子市中野町2062-21 |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | 042-627-7432(営業部) |
公式HPのURL | https://www.neoark.co.jp/ |
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