ここでは、精密製造装置の総合メーカー、マイクロテクスの露光装置の特徴を紹介します。
露光方式 | コンタクト露光方式 |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 公式HPに記載なし |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
様々な用途に利用可能なロールtoロール連続自動露光装置です。独自開発のワーク送り機構を有し、世界トップクラスの連続露光制度を実現するほか、両面露光にも対応するなど、アプリケーションの幅を広げてくれる逸品になります。リードフレームや微細機械部品、MEMSなどユーザーのニーズに合わせて様々な用途への利用が可能です。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 公式HPに記載なし |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
前掲のロールtoロール連続自動露光装置と同様、半導体関連装置として用いられるリールtoリール両面同時露光機です。詳しい説明はありませんが、シリコンウエハの表面・裏面を文字通り両面同時に露光可能な装置になります。
マイクロテクスでは、半導体関連装置として「ロールtoロール連続自動露光装置」「リールtoリール両面同時露光機」という2種類の露光装置を提供しています。
ロールtoロール連続自動露光装置は連続精度に加えて両面露光にも対応する優れもの。リールtoリール両面同時露光機も、文字通り両面同時露光が可能な露光機です。いずれの製品も、半導体製造の現場における高い生産性の実現に貢献します。
株式会社マイクロテクスは、大阪府大東市に本社を構える精密製造装置の総合メーカーです。FPD(液晶・プラズマパネル)製造装置、半導体製造装置、各種露光機、各種搬送システム、溶接機、検査装置など幅広い営業品目を手がけています。
同社の大きな特徴は「総合的でシームレスな製造工程のプロデュースが可能」なことです。当社は単なる設計製造会社ではなく、社内に研究・企画・設計・製造・制御の各部門を設置し、企画から立ち上げ、メンテナンスまで総合的にサポートすることができます。
社名 | 株式会社マイクロテクス |
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本社所在地 | 大阪府大東市新田北町3-52 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 072-870-7647 |
公式HPのURL | http://www.microtex.co.jp/ |
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