オーク製作所

ここでは、オーク製作所の露光装置の特徴をご紹介します。

オーク製作所の主な露光装置

半導体用露光装置ウエハ用
PPS-8200/8300

6・8・12インチのウエハ用モデルです。薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応。光源の波長をghi線、gh線、i線に切り替えることで、各種レジストに適切なプロファイルを実現できます。WL-CSP、IGBT、CISなどのリソグラフィにおすすめです。

半導体用露光装置パネル用 PPS-8500

415 x 510mm/515 x 510mmといった大型パネルに特化した露光装置です。マルチポイントフォーカスによる、オートフォーカス機能を搭載。光源の波長をghi線、gh線、i線に切り替えることによって、各種レジストに適切なプロファイルを実現することが可能です。

ダイレクト露光装置 FDi-5

新型の超高速描画エンジンにより、次世代パッケージ全般の微細配線対応装置として80面/時の生産性を実現。0.25umピッチのデータ分解能で、線幅の安定性もアップしています。DI機として世界クラスの位置合わせ精度|Ave.|+3σ ≦ 3.5μmも特徴です。

オーク製作所の露光装置はどんな人におすすめ？

電子回路基板用ダイレクト露光装置、半導体用露光装置、コンタクト露光装置など、生産性が高く高精度な露光装置を数多くラインナップ。研究開発、試作、小ロット生産向けから、量産向け露光装置まで、ニーズに合わせた装置が選べます。

自社工場にてランプと露光装置を一体として製造するなど、国内でも珍しい製造体制で、製品や製造ラインに合わせたオーダーメイドのモノづくりを行ってくれるので、従来の装置に満足できない方は相談してみてはいかがでしょうか。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

オーク製作所はどんな露光装置の会社・メーカー？

光の技術でさまざまな産業分野に貢献

1968年の創業以来、長年技術を培ってきた「光」の専門メーカーです。

産業用ランプをはじめ、電子回路基板、液晶基板の製造装置、半導体素子製造装置、検査装置、ダイレクト露光装置など、多くの製品で幅広い分野に貢献。医療・介護・福祉・農業・食品・スポーツなどライフサイエンス分野での事業展開や、特許取得のUVランプの力で空気をキレイにする、オゾン発生器の開発なども行っています。

長野県茅野市と東京都西多摩郡日の出町の自社工場で、全ての製品を製造。世界的企業をはじめ、大手メーカーとの取引実績も多く、高い技術力が支持されています。

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