ここでは、オーク製作所の露光装置の特徴をご紹介します。
| 露光方式 | ステッパー |
|---|---|
| 波長 | ghi線,gh線,i線 |
| 光源 | 水銀ランプ |
| 解像力 | 2μm L/S (2μmt） |
| 重ね合わせ精度 | ≦0.5 µm(|Ave|+3σ) |
6・8・12インチのウエハ用モデルです。薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応。光源の波長をghi線、gh線、i線に切り替えることで、各種レジストに適切なプロファイルを実現できます。WL-CSP、IGBT、CISなどのリソグラフィにおすすめです。
| 露光方式 | ステッパー |
|---|---|
| 波長 | ghi線,gh線,i線 |
| 光源 | 水銀ランプ |
| 解像力 | 2μm L/S (2μmt） |
| 重ね合わせ精度 | 1.0μm (|AVE|+3σ) |
415 x 510mm/515 x 510mmといった大型パネルに特化した露光装置です。マルチポイントフォーカスによる、オートフォーカス機能を搭載。光源の波長をghi線、gh線、i線に切り替えることによって、各種レジストに適切なプロファイルを実現することが可能です。
| 露光方式 | ダイレクトイメージ |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | ※公式HPに記載なし |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
新型の超高速描画エンジンにより、次世代パッケージ全般の微細配線対応装置として80面/時の生産性を実現。0.25umピッチのデータ分解能で、線幅の安定性もアップしています。DI機として世界クラスの位置合わせ精度|Ave.|+3σ ≦ 3.5μmも特徴です。
| 光源 | 解像性 | 最大露光サイズ | 総合重ね合わせ精度 | |
|---|---|---|---|---|
| EDi-5308 | UV Lamp | SRO:Φ40μm | 635x535 mm | 6μm |
| EDi-8308 | UV Lamp | SRO:Φ80μm | 635x535 mm | 7μm |
| EDi-8310 | UV Lamp | SRO:Φ80μm | 813x635 mm | 7μm |
電子回路基板用のダイレクト露光装置。UVランプ光源のブロードバンド波長によって、幅広い感材を使用可能となっています。
| 型式 | VUM-3500 |
|---|---|
| ウエハサイズ | Φ300 mm（標準） |
| 同時処理枚数 | 15 枚 |
| カセット形態 | FOUP |
| ウエハ搬送 | 自動搬送 |
| ランプ灯数 | 20 本 |
| 照度測定 | 自動測定 |
電荷除去に適した254nm波長を採用した半導体用露光装置。蓄積された電荷を効率よく除去することが可能です。単一波長のため、低温での処理を行うことができます。
250mmから500mm幅までのロールtoロールに対応が可能です。また、高剛性フレームと高性能ステージによって、高い位置決め精度を実現していることに加えて、要求精度・目的に合わせたアライメント機能の選択が可能。高難度の合わせ精度が求められるケースにも対応できます。また、各種キャリブレーションを自動で行うことによって、装置を安定稼働させられます。
※詳しい仕様は直接お問い合わせください。
同装置のために開発された高照度ランプと光学系の相互作用により、高いエコ性能とタクトアップを両立している点がポイント。幅広い感材に対応することができます。また、基板の不規則な変形に応じてすぐにデータの補正を行える、独自のD-A-Tアルゴリズムを標準搭載しており、複雑な処理への対応が可能です。
※詳しい仕様は直接お問い合わせください。
EDiシリーズと同等の高精度と安定的な露光性能はそのままに、搬送部分を人が行うマニュアルタイプのダイレクト露光装置です。本体価格が抑えられており、試作や多品種少量生産、研究開発などの用途向きの製品です。パターニングレジストとソルダーレジストの波長特性に適合する専用ランプを搭載しており、あらゆる電子回路基板用レジストに対応しています。
※詳しい仕様は直接お問い合わせください。
各種データ入力、データ補正、データ編集、MAP（製造用自動補正処理）、ファイル/ネット照合、ドリルシミュレーション、MRC（製造用ルールチェック）など、さまざまな機能を搭載したデータ編集システムです。動作環境はWindows Vista/7/8/8.1/10。さまざまな要望に対応が可能な追加機能も用意されています。
※詳しい仕様は直接お問い合わせください。
電子回路基板用ダイレクト露光装置、半導体用露光装置、コンタクト露光装置など、生産性が高く高精度な露光装置を数多くラインナップ。研究開発、試作、小ロット生産向けから、量産向け露光装置まで、ニーズに合わせた装置が選べます。
自社工場にてランプと露光装置を一体として製造するなど、国内でも珍しい製造体制で、製品や製造ラインに合わせたオーダーメイドのモノづくりを行ってくれるので、従来の装置に満足できない方は相談してみてはいかがでしょうか。
1968年の創業以来、長年技術を培ってきた「光」の専門メーカーです。
産業用ランプをはじめ、電子回路基板、液晶基板の製造装置、半導体素子製造装置、検査装置、ダイレクト露光装置など、多くの製品で幅広い分野に貢献。医療・介護・福祉・農業・食品・スポーツなどライフサイエンス分野での事業展開や、特許取得のUVランプの力で空気をキレイにする、オゾン発生器の開発なども行っています。
長野県茅野市と東京都西多摩郡日の出町の自社工場で、全ての製品を製造。世界的企業をはじめ、大手メーカーとの取引実績も多く、高い技術力が支持されています。
| 社名 | 株式会社オーク製作所 |
|---|---|
| 本社所在地 | 東京都町田市小山ヶ丘3-9-6 |
| 営業時間 | ※公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 042-798-5130 |
| 公式HPのURL | https://orc.co.jp |
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精密な製品の品質の向上や生産効率の改善が求められる製造業界では、露光装置が重要な役割を果たします。限られた予算の中で生産効率を最大化しつつコスト削減を図るためには、製品ごとに異なるニーズに応えることができる露光装置を選ぶことが重要です。そこでおすすめの露光装置メーカー3選をご紹介します。
画像引用元：サーマプレジション（https://www.cerma.co.jp/2021/08/20/post-5456/）
画像引用元：Nikon（https://www.jp.nikon.com/company/technology/product/fpd/）
画像引用元：Canon（https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa6300es6a.html）