タカノ

ここでは、タカノの露光装置の特徴をご紹介します。

タカノの主な露光装置

プロキシミティ露光装置 (TME series)

独自方式の装置でリソグラフィー工程の最適化を提案。高い転写性能とコンパクトな設計で、研究開発に適した業界スタンダードの露光装置です。タカノでは、高性能な検査装置の開発および製造を通じて、半導体産業に高品質なソリューションを提供しています。

卓上型 R&D 露光装置 TME-150R

MEMS、有機 EL、光導波路、化合物半導体など、有望新分野における研究開発から小規模量産までに適した露光装置です。それまで販売していた、大面積を一括露光できるプロキシミティ方式の露光装置に対し、「露光範囲を絞ってでも、より低価格のものが欲しい」と要望を受け開発されました。

好評な光学性能はそのままに、露光範囲を40~200mm(ウェーハでφ2~8 インチ)とすることで、低価格・小型コン パクトを追求しています。省スペースながら、ウエハをはじめ、ガラス、セラミック、その他の各種基板や多様な形状・サイズに対応しています。

タカノの露光装置はどんな人におすすめ？

タカノの露光装置は、小型から大型まで、ユーザーニーズに対応した幅広いラインアップを揃えています。

特に、R&D 露光装置では、新規市場のニーズに合わせてフレキシブルに対応。すべての装置をカスタマイズで生産しており、ニーズに対するヒアリングとその情報の分析、提案の繰り返しによって、高機能かつ生産プロセスに求められるシステムを提案してくれます。

要望や個別の仕様に対応したオリジナル製品を作って欲しい方におすすめです。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

タカノはどんな露光装置の会社・メーカー？

100年企業を目指して積極的に事業を展開

1941年にばねの製造からスタートしたタカノ。長野県上伊那郡宮田村に本社を置き、オフィス家具（オフィス椅子）、外構・エクステリア、エレクトロニクス関連（画像検査装置）、健康福祉機器などの開発、生産、販売など幅広い事業を行っています。

1985年には自社製品ブランドを開発。電磁アクチュエータや画像処理検査装置など、本格的にエレクトロニクス事業へと参入し、福祉・医療機器事業にも進出。2018年には、測量機器を手掛けるトプコンと子会社のトプコンテクノハウス（東京・板橋）から、半導体の基板であるウエハの検査装置と露光装置事業を買収しており、100年企業を目指して積極的な技術開発・事業展開を行っています。

タカノの会社情報

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