ナノシステムソリューションズ

ここではナノシステムソリューションズの露光装置の特徴をご紹介します。

ナノシステムソリューションズの主な露光装置

マスクレス露光装置D-light  DL-1000

フォトマスク不要のマスクレス露光装置です。マルチトーンマスクを使用したり多重露光をしたりすることなく、レジストの三次元加工が簡単にできる機能を搭載。デジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device:DMD）を用いた独自のパターン縮小投影で、画素1μmの自由度の高いパターニングを実現しています。

レジストの感度特性や処理条件の違いによる露光結果の変動に対しても、グレースケールデータを変更することで、求める形状を迅速に具現化することが可能です。

ナノシステムソリューションズの露光装置はどんな人におすすめ？

マスクレス露光装置D-light  DL-1000は、半導体製品やマイクロマシンの試作に不可欠な装置として、国内の大学等や研究機関をはじめ、国内外で数多くの販売実績があります。

各種半導体デバイスの開発、少量多品種のデバイス製造ライン、バイオ関係（マイクロ流路等）、発光素子開発、高周波回路の開発、各種センサーの製造、インプリント用金型製造、大型ディスプレイ用フォトマスク製造、立体構造物への露光、フィルムサンプルへの露光、半導体用フォトマスク製造(バイナリ・位相シフト)などさまざまな用途に使用することができます。

公式サイトには、実際の研究現場での活用事例も掲載されているので、ぜひ参考にして下さい。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

ナノシステムソリューションズはどんな露光装置の会社・メーカー？

斬新な視点と確かな技術で
世界一の匠集団を目指す

独立行政法人産業技術総合研究所の支援を受け、 2004年12月に創業。独自の光学技術を中核に据え、超微細加工と計測という先端特殊技術分野でのニーズに応える研究開発型のベンチャー企業です。

現在は、デジタルマイクロミラーデバイス（DMD）を使用したマスクレス露光装置事業をはじめ、半導体製造装置・検査装置の開発・設計、バイオ分析、合成機器及びシステムの開発・設計などの事業を展開。大きな可能性を秘めた光学技術の分野に注力し、新しい光源の開発、分野を超えたさまざまな精密機器に組み込まれる、特殊光学製品の開発と提供を推進しています。

強みは、斬新な視点と確かな技術に裏打ちされた「ものづくり」の精神。小さな会社でありながら、世界一の「光学レーザと超微細画像処理の匠集団」を目指しています。

ナノシステムソリューションズの会社情報

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