i線の露光装置の市場について

露光装置を比較する際は、露光方式だけでなく、焼付波長による違いにも注目して下さい。ここでは、紫外線の波長の一つであるi線と、i線の露光装置を扱っている主なメーカーをご紹介します。

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そもそも i 線とは？

波長が365nmのスペクトル線

i 線とは、水銀が持つ多くのスペクトル線のうち、波長が365nmのスペクトル線のことです。フォトレジストに効率よく反応する波長を表しています。1990年代後半に、それまでのg線に代わって i 線が主流になりました。 この波長を利用したステップアンドリピート（step and repeat）方式の露光装置を i 線ステッパなどと言います。

光源波長が短いほど微細なパターンが形成できるため露光装置の価格も高く、 i 線露光装置の価格相場は約4億円ほどとなっています。

i 線の出荷額のシェア率

i 線市場ではキヤノンが5割を占める

露光装置市場では、オランダのASMLが独走状態だと思われていますが、露光装置を i 線（波長365nm）、KrF（248nm）、ArFドライ（193nm）、ArF液浸（193nm）、EUV(13.5nm)の波長ごとに分け、2019年の出荷額および企業別シェアを調べてみたところ、それぞれシェアに違いがあることが分かりました。

i 線の露光装置でトップシェアを占めているのは、キヤノンで55.2％。ついで、アメリカのVeecoが23.5％、ニコンが3位で12.8％、ASMLは8.5％で第4位でした。 すべての露光装置においてASMLが圧倒的というわけではなく、露光装置ごとに各社の棲み分けがあることが見て取れます。

i 線の露光装置を取り扱っている主なメーカー・販売会社

サーマプレシジョン

「技術を語れる商社」として、露光工程のシームレスソリューションを提供。

LED光源を標準装備した各種露光装置の他、 i 線露光装置では、フルパネルの量産に対応した投影露光装置CMSを製造・販売しています。

サーマプレシジョン
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ウシオ電機

1964年の創業以来、「光のプロフェッショナル集団」として、世界中に高品質・高付加価値製品を届けています。

ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置マスクアライナー「UX-1シリーズ」を扱っています。

ウシオ電機
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Canon（キヤノン）

長年にわたって露光装置の開発・製造を続けている、世界的に有名な大手精密機械メーカーです。

i 線露光装置の開発・製造に力を入れており、ラインナップ多数。 i 線市場では5割のシェアを占めています。

Canon
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Nikon

高度な光利用技術と精密技術でさまざまな製品やソリューションを提供。

i 線露光装置では、300mmウエハで毎時200枚以上の高スループットを実現したスキャンフィールドステッパーNSR-SF155などを販売しています。

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