【量産目的】
露光装置のおすすめ5選
【研究/開発】
露光装置のおすすめ3選
露光装置 PERFECT GUIDE » 露光装置の市場規模を知ろう » EUVの露光装置の市場について

EUVの露光装置の市場について

露光装置を比較する際は、露光方式だけでなく、焼付波長による違いにも注目して下さい。ここでは、極端紫外線と呼ばれるEUV線と、EUV線の露光装置を扱っているオランダのASML社の特徴をご紹介します。

そもそもEUVとは?

7nmより微細な加工が可能

EUVとは、極端紫外線と呼ばれる非常に短い波長(13.5 nm)の光のことです。従来のArFエキシマレーザーによる技術では加工が難しい、7nmより微細な寸法の加工が可能です。露光技術は、微細化が追求され、g線、i線、KrFエキシマレーザー、ArF線へ大きな進化を遂げました。しかし、7ナノ以降の線幅に対応するためには、より効率的により細かい線幅の回路の描画が可能な露光装置が必要となり、開発されたのがEUV露光装置です。

光源波長が短いほど、微細なパターンが形成できる上、露光装置の価格も高い露光装置。EUV露光装置の価格は約200億円とされ、ロケットの打ち上げ費用よりはるかに高額と言われています。

euvの出荷額のシェア率

ASMLが市場シェアを100%独占

EUV露光装置の開発には、2021年8月現在でオランダのASMLしか成功しておらず、同社が市場シェアを100%独占しています。ASMLは現在、露光装置の主流であるArF液浸シェアでも9割以上のシェアを占めており、次世代のEUV露光装置も合わせて市場規模の大きな分野で先行。装置価格も従来機より非常に高額なため、半導体用露光装置で一人勝ちの状態が続いています。

半導体業界においては、今後EUV露光装置の重要性がさらに増すと見られており、EUV露光装置の奪い合いが起こる可能性なども指摘されているようです。

【2023年3月報道】2030年には市場規模が600億米ドルに達する見込み

極端紫外線露光装置に関して、国際マーケットの市場規模は予測期間中(2022~2030年)に複合年間成長率25.1%で発展し、2030年頃にはおよそ600億米ドルに到達すると見込まれています。

地域別に傾向分析を行うと、アジア太平洋地域は家庭用の電化製品に適している成長国が存在していることと、半導体市場が優位的に発展していることから、結果的に世界トップのシェアを獲得することに成功しました。一方、北米地域は政府による取り組みや民間企業の積極的な投資により、マーケット全体で今後も高い成長率を保っていくと考えられています。

マイクロエレクトロニクスデバイスの販売数が増加していくに伴って、世界市場が一層に発展すると予測されている点が重要です。

euvの露光装置を取り扱っている主なメーカー・販売会社

ASML

半導体露光装置で世界トップシェアを誇るオランダの半導体製造装置メーカーです。1984年にフィリップスとASMインターナショナルとの間の合弁会社として設立されました。

次世代露光技術であるEUV露光装置の開発に成功し、1台200億円とも言われる高価な精密機械を、世界中の半導体メーカーに提供。世界16ヶ国に60拠点を展開※しており、2001年に設立されたASMLジャパンでも、半導体産業に不可欠な露光装置の販売、据え付け、保守サポートを行っています。

※2021年8月時点、公式サイトより(https://www.asml.com/ja-jp/technology

Samsung(サムスン)

韓国の総合家電メーカーであるサムスンの2021年のEUV出荷数量は15台となっており、さらに韓国証券会社の調査によっては2022年には18台の確保になると想定されるなど成長傾向が続いています。

TSMC(台湾積体電路製造股份有限公司)

TSMC(台湾積体電路製造股份有限公司)は世界各国のカンパニーから半導体の受託製造を請け負っており、台湾だけでなく国際マーケットにおいても独自技術で地位を確立しました。

キャノン(株)

カメラやビデオ、プリンタといった様々な家電製品を製造・販売しているメーカーであり、2023年3月13日にはXR市場におけるデバイス製造を可能とした半導体露光装置も発売しました(2023年3月時点情報)。

株式会社ニコン

カメラメーカーとして知られるニコンでは独自技術にもとづいた半導体の小型化と高機能化を追求しており、「液浸露光技術」や「マルチプルパターニング技術」といった技術を採用しています(2023年3月時点情報)。

トッパン・フォトマスクス株式会社

印刷テクノロジーを中心に複数分野の事業を続けるトッパンでは、独自開発によってオリジナルの「EUVフォトマスク」を開発しており、パターン周辺部分の微細化を達成しました(2023年3月時点情報)。

i線の露光装置の
市場を
改めて確認する

露光装置パーフェクトガイド

半導体のシリコン基板(ウエハ)などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム(MEMS)をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。