Orbotech（現KLA-Tencor）の露光装置の特徴や強み、また企業情報などをまとめていますので、露光装置の比較検討や導入プランの参考としてご活用ください。
| 露光方式 | レーザーダイレクトイメージング |
|---|---|
| 波長 | 要問合せ |
| 光源 | マルチ・ウェーブ・レーザー |
| 解像力 | 1.25μm |
| 重ね合わせ精度 | ±7.5μm |
Orbotech（現KLA-Tencor）が提供しているパターン用ダイレクトイメージング（DI）としてラインナップされている「Orbotech Nuvogo Fine」シリーズです。
独自の露光技術によって構築されたレーザーダイレクトイメージング装置として、量産体制を下支えする高効率デジタルイメージングを実現します。
露光工程と搬送工程を2段テーブル構造によって同時に行うことが可能となっており、生産性を向上させることで基板に対する露光コストの軽減に貢献することも特徴です。また、関連工程とシステム的に連携することでシームレスな作業体制を整えます。
「Orbotech Nuvogo Fine」シリーズを含めて、Orbotech（現KLA-Tencor）では独自技術を活用した露光装置を展開しており、企業のニーズや生産工場の稼働条件などに応じて最適と思われるソリューションを提案しています。そのため、露光コストの節減や省力化による人的コストの圧縮、多種多様なレジストへの対応による露光プロセスの最適化など、具体的なビジョンを設定して露光装置の導入メリットを追求したい企業におすすめです。
「Orbotech」はイスラエルの露光装置メーカーが展開していた産業用機械ブランドであると同時に、同社は2018年にアメリカの半導体装置メーカーである「KLA-Tencor」によって買収合併されました。そして両社の合併による技術的融合は半導体製造装置や露光装置の技術的特性を一層に強化しており、独自の技術体系を確立することで新しい露光装置シリーズとしてパターン用ダイレクトイメージング（DI）のブランディングに成功しています。
KLA-Tencor社は日本本社として横浜市に拠点を置きながら、日本各地にサービスセンターを展開してクライアント企業のニーズへスピーディに対応しています。
またカスタマーレスポンスセンターを設置し、顧客対応のサービス強化に努めている点も重要です。
| 社名 | KLA-Tencor株式会社／ケーエルエー・テンコール株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 神奈川県横浜市西区みなとみらい3-7-1 Ocean Gate Minatomirai 11F |
| 営業時間 | ※公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 045-522-7000（大代表） |
| 公式HPのURL | https://www.kla.com/ja |
関連ページ
半導体のシリコン基板（ウエハ）などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム（MEMS）をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。