ここでは、協同インターナショナルの露光装置の特徴をご紹介します。

| 露光方式 | コンタクト・プロキシミティ(アライナー) |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | Model200=水銀ランプ |
| 解像力 | プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)など |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
カリフォルニア州のシリコンバレーで長年の歴史を持つ光源メーカーOAI社製のマスクアライナーです。基板素材はシリコン、ガラス、セラミック、ガリウムヒ素、推量などさまざま。Model200はテーブルトップ型で、R&Dや大学向けに適したリーズナブルかつシンプルな装置です。

| 露光方式 | コンタクト・プロキシミティ(アライナー) |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | Model212=水銀ランプ |
| 解像力 | プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)など |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
最大12”までの中型基板に適した、ベンチトップタイプのR&D用マスクアライナーです。オプションでコントローラ、チャックを追加すると、「マイクロ流体チップの製造」「UVナノインプリント」が可能な装置へアップグレードさせることができます。

| 露光方式 | コンタクト・プロキシミティ(アライナー) |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | 800E=水銀ランプ |
| 解像力 | プロキシミティ:3-5μm (15-20μmギャップ)など |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
光学両面アライメント機能を兼ね備えた、ハードパッケージに搭載されたシステムです。セミオートなので、操作を装置に任せる事が可能。R&Dで光学式なトップ面またはボトム面のアライメントが可能な他、少量産機としての使用にも適しています。

| 露光方式 | プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト、バキュームコンタクト |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | ※公式HPに記載なし |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |

| 露光方式 | プロキシミティ:5μm、ソフトコンタクト:3-5μm、ハードコンタクト:2-3μm、バキュームコンタクト:<2μm |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | ※公式HPに記載なし |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
やや大きめのフォーマットに対応しているアライメント露光システム。こちらのシステムでは、フラットパネルディスプレイや最大20″×20″まで大型の基板のプロセス需要に対応することができます。

| 露光方式 | ※公式HPに記載なし |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | フラッド露光、エッジビード露光 |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
フラッド露光またはエッジビード露光に対応することが可能な、フルオートマチックタイプのシステムです。こちらの機器を利用することにより、シャドウマスク技術が貴重なエッジビード除去工程を要する製品の製造を容易にするといったメリットがあります。

| 露光方式 | ※公式HPに記載なし |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | UV光源、DUV光源 |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
複雑で高価な光学系や機械構造なく、DUV投影露光システムと同等の解像度を実現している露光装置。一般的なフォトレジストや材料が使用可能であり、業界標準のクロムマスク、位相シフトマスクにも対応が可能です。
協同インターナショナルが販売しているOAI社の露光装置は、コンパクトなテーブルトップ型で、研究開発用途からセミ/フルオートマティックの量産対応機まで豊富なラインナップ。世界中で使用されており、高い信頼性、耐久性、技術優位性などが評価されています。経済的かつコストパフォーマンスに優れたマスクアライナーとしても支持されているので、露光装置を検討する際はぜひチェックしてみてください。
協同インターナショナルでは、さまざまな顧客ニーズに専門チームが対応してくれるので安心です。
1970設立、川崎市宮前区を拠点に、イタリアやスペイン産の生ハム・チーズなどの食品輸入や、電子材料、酪農畜産機械などを扱う商社事業の傍ら、少量からのボンディング・スパッタリング・パターニング、及び製造機器の部品販売や洗浄サービスといった、アウトソーシングも提供しています。
豊富な材料や加工ノウハウを活かして、ニーズに合わせた材料・方法の選定から製造までトータルに対応。業種を問わず、「今まで無かったモノ」「真似されないモノ」の販売を行い、お客様にメリットを提供することを目指しています。
| 社名 | 株式会社協同インターナショナル |
|---|---|
| 本社所在地 | 神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9 オーミヤ宮崎台ビル |
| 営業時間 | ※公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 044-853-2611(代表) |
| 公式HPのURL | https://www.kyodo-inc.co.jp/ |
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