昭和サイエンス

ここでは、昭和サイエンスの露光装置の特徴をご紹介します。

昭和サイエンスの主な露光装置

シリコンウエハーやガラス板の上に形成したフォトレジスト等に、等倍露光によるパターン形成を行うことができる露光装置です。半導体など多方面への応用の広さ、シリコン・ガラス・フィルムなど応用材質の多様性、操作性の良さなど利点が豊富にあります。不定形サイズの基盤等にも対応可能です。

昭和サイエンスは露光装置の専業メーカーではありませんが、その露光装置を衝撃振動から守る防振台/防振ユニット/空気ばねユニットを豊富に製造しているほか、フォトレジスト等へのパターン形成を行う露光装置「マニュアルマスクアライナ」を提供しています。

上述しましたが、昭和サイエンスが提供するベローズ方式採用の空気ばね「ATシリーズ」は、水平・垂直とも高い防振性能を有するなど優秀な空気ばねユニットです。これ以外にも昭和サイエンスでは、様々な用途に用いられる高品質な防振台を数多く製造販売しています。

露光装置や精密機器を「衝撃振動から守りたい」「しっかりとした振動対策をしたい」という方におすすめです。

昭和サイエンスは、神奈川県川崎市に本社を構える防振台・検査装置のメーカーです。露光装置本体の提供は多くありませんが、露光装置や電子顕微鏡など精密機器を振動による障害から保護するための、防振台/防振ユニット/空気ばねユニットを多数ラインナップしています。

昭和サイエンスの運営・サービスの特徴は、顧客の課題解決に向けた提案ができる企業を目指していることです。自社製品やサービスを提供するだけでなく、個々のクライアントの課題に耳を傾けて、より良い解決法を提案できる企業を目指しています。