ここでは、菱光社の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | コンタクト・プロキシミティ(アライナー) |
---|---|
波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | L & S: 4μm |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
ガラス、ウエハ、フィルム等に対応するコンパクト設計で、他品種・小ロット生産や実験・研究におすすめな手動露光装置です。フットプリントを縮小することで省スペースを実現し、座っての作業も可能。コンタクト露光(ソフト・ハード・バキューム)と、プロキシミティと4つの露光モードに対応しています。
露光方式 | コンタクト・プロキシミティ(アライナー) |
---|---|
波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | Proximity gap20μm |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
全機能がコンパクトに一体化した露光装置です。独自に開発した平行出し機構によって、マスクとウエハ間におけるプロキシミティギャップを高精度で設定することが可能。ウエハの裏面真空吸着方式により、高速・高精度で安定した自動搬送を実現。用途により、2種類のアライメント方式が選択できます。
菱光社では、大日本化研やニコンエンジニアリングを中心に、ニーズに対応する各社露光装置を扱っています。自社でも特注製品の製作を手がけ、研究開発、試作、小ロット生産向けから量産向け露光装置まで豊富なラインナップが魅力です。
さらに、各メーカーに対応した定期点検・ISO9000対応校正を技術サービス部門で行っており、複数のメーカーの装置の修理などにも対応。製品の製作からアフターサポートまでトータルで依頼したい方、複数メーカーのメンテナンスを一社にまとめたい方などにおすすめです。
1947年の創業以来、東京都江東区豊洲を拠点に事業を行っている精密機器専門商社です。創業以来60年以上の実績があり、オリンパスやニコンなど国内大手メーカーの正規代理店として、各種顕微鏡、形状測定機、座標測定機、半導体関連機器、露光装置、試験機などの幅広い商材を扱っています。
また、ニーズに合わせて、世の中にない製品の企画・設計・製作等にも対応。さまざまな特注製品の製作を手がけています。技術サービス部門では、複数のメーカーに対応した定期点検・ISO9000に対応した精度検査、出張修理も実施。製品の企画・製作からアフターサポートまで、一貫した技術サポート力が強みです。
社名 | 株式会社 菱光社 |
---|---|
本社所在地 | 東京都江東区豊洲5-4-9 KR豊洲ビル1F |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-5548-0211 |
公式HPのURL | https://www.ryokosha.co.jp/ |
関連ページ
半導体のシリコン基板(ウエハ)などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム(MEMS)をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。