京セラ

ここでは、京セラの露光装置の特徴をご紹介します。

京セラの主な露光装置

真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

アルミナ、炭化珪素、ポーラス材、コージライトといった材質を用いた、精密セラミック真空チャックです。高精度かつ複雑な表面加工が施されており、半導体製造用ウエハの保持や運搬などのプロセスに対応しています。使用条件に応じた様々な表面加工が可能です。

ダメージレス搬送アーム

ハイスペック化にも対応する高温耐久のダメージレス搬送はーむです。半導体/液晶製造装置におけるウエハ運搬に用いられます。DLC(Diamond Like Carbon）などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能で、これにより摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止など高機能化を実現できます。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

京セラの露光装置はどんな人におすすめ？

京セラでは、半導体デバイスの製造用露光装置に用いられるウエハステージ用部材を開発・提供しています。

特に当社が独自開発した「低比重・低熱膨張コージェライト（特許第5762522号）」は、低熱膨張性と高比剛性を兼ね備え、露光処理時の寸法変化の抑制とステージ移動の高速化に寄与する優れた部材として、高い評価を受けています。公益社団法人発明協会主催の「令和2年度全国発明表彰」では見事に「発明賞」を受賞しました。

高品質な半導体露光装置のウエハステージ用部材をお探しの方におすすめの材料です。

京セラはどんな露光装置の会社・メーカー？

「人の心」をベースに新たな価値創造に取り組む

京セラは、京都府京都市伏見区に本社を構える大手電子部品・電気機器メーカーです。産業・自動車用部品、半導体関連部品、電子デバイス、コミュニケーション、ドキュメント、ソリューションなど幅広い事業を手がけており、豊富な経験と技術・ノウハウ、実績の積み重ねがあります。

経営資源に豊かな会社ですが、経営のベースは人の心にあり、「京セラフィロソフィ」と「アメーバ経営」を実践しつつ、全従業員の力の結集と個々の能力を最大限に発揮することで、新たな価値の創造に取り組んでいます。

京セラの会社情報

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