このページでは1928年の設立以来、各時代のニーズに合わせた産業用機器を提供してきた株式会社三明について、露光装置の特徴や製品事例、おすすめポイントなどをまとめました。
露光方式 | マスクアライナー |
---|---|
波長 | 要問合せ |
光源 | 要問合せ |
解像力 | 1μm(ハード)・3μm(ソフト) |
重ね合わせ精度 | ±2μm(トップ)・±5μm(ボトム) |
株式会社三明のマニュアルマスクアライナー(両面マスクアライナー)は、ウェハの上下両面へ高精度のパターニングを行うための露光装置です。ソフトコンタクトとハードコンタクトを選択することで解像度を決定することが可能であり、ウェハサイズに応じて複数のモデルが展開されています。なお、ウェハサイズは4インチ・6インチ・8インチの3タイプが標準仕様となっていることもポイントです。
露光方式 | マスクアライナー |
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波長 | 要問合せ |
光源 | 要問合せ |
解像力 | 1μm(ハード)・3μm(ソフト) |
重ね合わせ精度 | ±2μm(トップ)・±5μm(ボトム) |
大量生産や工場のオートメーション化に対応する全自動式の露光装置です。丸型や角型など様々な試料に対応しており、汎用性を高めることで色々な利用環境へマッチできる点は見逃せません。また、設計コンセプトとしてシンプルな構造による低コスト化を設定されており、ウェハの量産体制を合理的に構築したい企業や製造拠点などにおすすめです。
株式会社三明は少量多品種のサンプル製作や大規模生産拠点における大量生産など、それぞれの露光装置ニーズに合わせて複数の製品やモデルを選択できることが強みです。そのため、三明は初めて露光装置を導入する企業から、既存のシステムや設備を更新したい企業、また研究開発を行う研究機関や学術機関など幅広い方々におすすめすることができます。
株式会社三明は1928年に設立された産業機器メーカーであり、現在は日本各地や海外に複数の事業拠点を展開し、光学分野や電子機器分野などにおいてロボットシステムやFA化装置を提供しているグローバルメーカーです。およそ1世紀にわたって様々な産業機械や光学機器の設計・開発・製造を行ってきた歴史を有しており、それぞれの時代のニーズやトレンドに合わせたソリューションを自社一貫体制でトータルプロデュースしています。
社名 | 株式会社三明 |
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本社所在地 | 静岡県静岡市清水区松原町6-16 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 054-353-3271 |
公式HPのURL | https://www.sanmei.co.jp/ |
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