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Krfの露光装置の市場について

露光装置を比較する際は、露光方式だけでなく、焼付波長による違いにも注目して下さい。ここでは、紫外線の波長の一つであるKrF線と、KrF線の露光装置を扱っている主なメーカーをご紹介します。

そもそもKrFとは?

i線を上回る微細な露光が可能

より微細な加工を行うため、波長が短波長化される技術革新の中にあって、90年代後半から2000年代はじめはKrF露光装置が量産ラインの主流でした。

KrF線(クリプトン・フッ素)とは、波長248nmの露光光源の名称です。希ガスやハロゲンの混合ガスを用いてレーザー光を発振させるエキシマレーザーという装置との組み合わせで、i線よりもさらに微細な回路も露光することが可能です。

g線やi線に比べて光源が少し弱いため、紫外線だけでなく熱にも反応する感光材料「化学増幅型レジスト」などが開発されています。露光装置の価格相場は約13億円ほどです。

KrFの出荷額のシェア率

KrF線市場ではキヤノンが5割でトップ

露光装置をi線(波長365nm)、KrF(248nm)、ArFドライ(193nm)、ArF液浸(193nm)、EUV(13.5nm)の波長ごとに分け、2019年の出荷額および企業別シェアを調べたところ、露光装置市場におけるkrf線のシェア率は、キヤノンが51.1%でトップ。オランダのASMLが46.2%でこの2社で全体の97.3%を占めていました。

すべての露光装置においてASMLが1位というわけではなく、露光装置ごとに各社の住み分けがあることが見て取れます。特にキャノンはKrFとi線にリソースを集中し、KrF露光装置のシェア拡大を狙っているようです。

i線の露光装置の
市場を
改めて確認する

KrFの露光装置を取り扱っている主なメーカー・販売会社

Canon(キヤノン)

カメラ、ビデオをはじめとする映像機器で世界的に有名な大手精密機械メーカーです。半導体デバイス以外の用途にも展開可能な露光機群を多数製造・販売しています。KrF線露光装置では、市場の5割以上のシェア率でトップ。

高い生産性を実現したKrFスキャナーFPA-6300ES6a、33mm x 42.2mmを一括露光できるFPA-6300ESW、KrFエキシマレーザーステッパーとして高水準の解像力・重ね合わせ精度・生産性(処理能力)を実現したFPA-3030EX6などを扱っています。

Canon
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Nikon(ニコン)

1917年の創業以来、高度な光利用技術と精密技術でさまざまな製品やソリューションを提供。2010年代以降は映像事業を縮小する一方、半導体露光装置事業に力を入れています。

「投影レンズの解像度」「重ね合わせ精度」「スループット」の3つの技術を高いレベルで組み合わせ、精度の高い露光装置を開発・製造。KrF線露光装置では、スループット毎時230枚以上、装置間重ね合わせ精度6 nm以下を実現したKrFスキャナーNSR-S220Dなどを販売しています。

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