コシブ精密

ここでは、コシブ精密の露光装置の特徴をご紹介します。

コシブ精密の主な露光装置

縮小投影型露光装置（ステッパー）

従来の等倍密着露光から縮小投影露光への移行を象徴する、コシブ精密の中でもエポックメイキングな露光装置です。縮小倍率は1/2.5倍。また、硯材における微細化や高精細・高品位なパターンも実現。光学・医療機器・半導体製造装置・精密・測定機器など、広範囲な分野での活躍が期待される製品です。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

コシブ精密の露光装置はどんな人におすすめ？

コシブ精密の主力製品である「ロータリーエンコーダースリット板」の原版製作、成膜、写真、加工、検査、測定まで一貫生産を依頼したい方におすすめと言えます。

コシブ精密では、高精細・高品位なパターン形成を可能にする、縮小倍率1/2.5倍の「Stepper（Step and Repeat Exposure Systems）」を取り扱っています。同機の導入により、最小線幅1μmの量産クロムパターンを製品化を実現し、近年進化が著しい微細化に対応しています。

また、コシブ精機の工場では、高精度な半導体用のフォトマスクやステッパー用のレチクルなどを用いたパターン加工も実施。回路パターンの原型を作る原版製作から、バッチ式スパッタリング装置及びインライン式スパッタリング装置による成膜工程、基板上への感光膜(レジスト)のコーティング、写真工程後の最終形状への切断加工まで、一連の加工プロセスへの一貫対応が可能です。

コシブ精密はどんな露光装置の会社・メーカー？

パターン形成の加工プロセスに一貫対応

コシブ精密は、東京都練馬区早宮に本社を置く事業会社です。「ナノの世界のエキスパート」を自任し、主力製品のロータリーエンコーダスリット板をはじめ、フォトマスク、光学部品、レーザー直接描画スタンダードスケールなど様々な機構部品や精密部品を製造しています。

写真工程では、投影縮小露光機ステッパーを導入しているのが特徴です。これは近年の微細化に対応するためで、コシブ精密はこの投影縮小露光機により、最小線幅1μmの量産クロムパターンの製品化を実現しています。さらに、パターン加工では各種検査装置によって測定。パターンの精度、製品の保証をしてくれる、依頼にあたる安心感がある会社です。

コシブ精密の会社情報

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