ここでは、アームスシステムの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | ステッパー |
---|---|
波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | LED |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
フォトマスク不要の縮小投影型マスクレス露光装置です。DLPプロジェクターと金属顕微鏡の組み合わせが特徴で、従来のシステムよりコストダウンしたほか、専用ソフトで数ミクロンの任意パターンをレジスト塗布した基板上に露光できます。
構築コストをおさえて露光パターン作成を簡略化したいという企業におすすめです。
アームスシステムではマスクレス露光装置・顕微鏡LED露光ユニットなどの「UTAシリーズ」を受注生産しています。UTAシリーズは顕微鏡とDLP(デジタルライティングプロセッシング)の組み合わせが特徴。従来のマスク露光装置と比べて安価なシステム構築が可能になり、数ミクロンパターン作成や広範囲の一発露光も容易です。
アームスシステムは、東京都荒川区に本社を置く各種画像処理システムの製造販売会社です。実体顕微鏡や金属顕微鏡、精密測定器・光学機器・電気計測器・露光装置など、数多くの光学機器や測定機器を製造。顕微鏡がメインですが、特注製品や中古品まで幅広く対応しています。
また常に先端の計測・分析・検査システムを豊富にラインナップしているため、様々なニーズに合ったサービスの提供が可能です。
社名 | アームスシステム株式会社 |
---|---|
本社所在地 | 東京都荒川区荒川2-31-2 |
営業時間 | 10:00~17:00 |
電話番号 | 03-5758-1888(営業部) |
公式HPのURL | https://www.armssystem.co.jp/ |
関連ページ
半導体のシリコン基板(ウエハ)などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム(MEMS)をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。