【量産目的】
露光装置のおすすめ5選
【研究/開発】
露光装置のおすすめ3選
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Mini-Lab

Mini-Labの主な露光装置

contact-150

Mini-Labの露光装置画像1

引用元:Mini-Lab
https://www.mini-lab.co.jp/products/contact-150/
露光方式 ウェハ・マスク吸着方式
波長 365nm±10nm
光源 250W超高圧水銀ランプユニットUVE-251S(三永電機社製)採用照射ユニット:EL-160)
解像力 ※公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 ※公式HPに記載なし

contact-150は、微細加工用露光装置です。マスクとウェハを吸着し、コンタクト露光を行えます。6インチSi基板、6インチマスクを密着露光。マスクの保持は真空吸着で真空計に真空度を表示する機能付きです。光源は三永電機社製250W超高圧水銀ランプユニットUVE-251Sを採用しています。ランプ寿命は約1,000時間です。グラフィックオペレーションタッチパネル対話式で、ワンタッチ操作ができます。操作、作業工程、動作、警報表示付きです。

contact-150_MA1200A

Mini-Labの露光装置画像2

引用元:Mini-Lab
https://www.mini-lab.co.jp/日本語/工程別製品紹介-1/contact-150-ma1200a/
露光方式 ※公式HPに記載なし
波長 ※公式HPに記載なし
光源 Super high-pressure UV-lamp500W
解像力 L&S:4μm ※ポジレジスト膜厚1μm、ソフトコンタクト時にて。
重ね合わせ精度 ※公式HPに記載なし

contact-150_MA1200Aは実験用密着露光装置です。マスクとウェハを密着させてコンタクト露光を行います。とくに多品種やロット生産、実験や研究をしたいときに適した機器です。小スペースのため、座ったまま作業できます。単眼アライメント、オプションで裏面アラトメント機能が搭載可能です。プロキシミティや、バキュームコンタクト、ハード・ソフトコンタクトと4つの露光モードを備えています。

contact-100

Mini-Labの露光装置画像3

引用元:Mini-Lab
https://www.mini-lab.co.jp/products/contact-100/
露光方式 ウェハ・マスク吸着方式
波長 254、365、436nm(バンドパスフィルター使用)
光源 200W Xe水銀ランプユニットEXCURE4000(ホヤキャンディオ社製)
解像力 ※公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 ※公式HPに記載なし

contact-100は、微細加工用露光装置です。マスクとウェハを吸着させてコンタクト露光をします。4インチSi基板と4インチマスクの密着露光が可能です。マスク保持は真空吸着で、真空計に真空度が表示されます。光源は、ホヤキャンディオ社製の200W Xe水銀ランプユニットEXCURE4000です。250W高圧水銀ランプ搭載、約2000時間のランプ寿命、露光積算機能を搭載しています。

contact-100_DA1000

Mini-Labの露光装置画像4

引用元:Mini-Lab
https://www.mini-lab.co.jp/日本語/工程別製品紹介-1/contact-100-da1000/
露光方式 ※公式HPに記載なし
波長 ※公式HPに記載なし
光源 ※公式HPに記載なし
解像力 ※公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 ※公式HPに記載なし

contact-100_DA1000は、手動式の実験用密着露光装置です。マスクとウェハを吸着させてコンタクト露光をするタイプで、実験や研究に適しています。コンパクト設計なため、卓上に設置可能です。UV-LEDランプハウスが標準搭載されています。有効露光範囲はφ4インチです。コンタクト露光タイプですが、オプションで他の露光モードにも対応できます。手動式のため価格設定もリーズナブルです。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

Mini-Labの露光装置はどんな人におすすめ?

Mini-Lab の露光装置は、微細加工用や実験や、多品種小ロット、実験や研究用の露光装置を求めている方にぴったりです。手動式、卓上タイプで、大掛かりな露光装置を求めていない方にも適しています。

Mini-Labはどんな露光装置の会社・メーカー?

2021年8月設立の小型製造装置や製造と販売で研究をサポート

Mini-Labは2021年8月に設立した株式会社です。研究開発に特化した小型装置専門の製造や販売を行っています。「時代の変化に柔軟に対応」「新たな付加価値を創造できる企業へ」「常に求められる企業へ」という3つのスローガンで、独自技術とノウハウでニーズに応えます。

Mini-Labの会社情報

社名 Mini-Lab 株式会社
本社所在地 神奈川県厚木市中町3-18-5 ソーケン本厚木ビル4F
営業時間 ※公式HPに記載なし
電話番号 046-244-4655
公式HPのURL https://www.mini-lab.co.jp/
露光装置パーフェクトガイド

半導体のシリコン基板(ウエハ)などのセンサ・電⼦回路を集約する微⼩電気機械システム(MEMS)をはじめ、⾼精度の電⼦機器の製造⼯程で⽋かせない存在となっている露光装置。量産⽬的、研究開発⽬的に分けておすすめの露光装置を紹介します。