ここでは、インターテックエンジニアの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | ※公式HPに記載なし |
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波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | ※公式HPに記載なし |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
インターテックエンジニアで取り扱っているキャノン製のコンタクトマスクアライナーPLAシリーズやミラープロジェクションマスクアライナーMPAシリーズの機器を裏面露光装置として使用するために製作されたユニットです。PLAやMPAに搭載することにより、ウエハーの裏面をアライメントできるのが特徴です。近赤外線仕様にすることも可能で、実績もあります。
インターテックエンジニアは、装置本体の販売だけでなく、装置改造や部品、ユニットの販売、移設業務まで幅広く半導体装置の設置業務に対応しています。レンタルアフターサービス業務も行っているため、 新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様におすすめです。MPAシリーズ、PLAシリーズともに、国内外70台以上の導入実績があるので安心です。
インターテックエンジニアは、キャノン製のコンタクトマスクアライナーやミラープロジェクションマスクアライナーの装置や部品の販売、移設業務、レンタル業務など様々なサービスを提供しています。 両面露光装置として使用できる自社製作のユニットを搭載することにより、機器の価値を高めるなど半導体関連の新規事業にも視野を広げています。 環境マネジメントシステムの新規格ISO14001:2015の認証を取得して、環境保全意識を高めています。
社名 | 株式会社インターテックエンジニアリング |
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本社所在地 | 熊本県菊池郡菊陽町原水4000-6 |
営業時間 | 平日8:45〜17:30(土日祝日・年末年始を除く) |
電話番号 | 096-292-4300 |
公式HPのURL | https://interteceng.com/ |
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