ここでは、べアックの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 平行光プロキシミティ露光 |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 平行光 |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
マスクとワークの接触がないプロキシミティ露光機です。両面処理サイクルタイム5秒の高性能を有するほか、平行光プロキシミティ露光による高解像度露光や1光源2ライン稼働によるランニングコストの低減も実現。また高精度サーボモーターによるマスククリアランスの任意設定や、独自構造による容易なマスク交換が可能です。
露光方式 | 平行光プロキシミティ露光 |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 平行光 |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
高性能なプロキシミティ露光装置。平行光プロキシミティ露光により高解像度の露光を実現するほか、CCDカメラの画像処理による±5µmの位置精度やサイクルタイム8秒の高速性など、ストレスの少ない露光が可能です。
高性能でストレスの少ない露光装置を使用したい方におすすめです。ベアックでは「BEX-250R-W」や「BEX-250S-W」などのプロキシミティ露光機を提供しており、マスクとワーク(試料)が接触しない非接触式露光が特徴。また高解像度露光や高い位置精度、好作業性などが特徴です。
株式会社べアックは長野県諏訪郡富士見町に本社を置く半導体製造装置関連メーカー。半導体の加工装置や露光装置を設計・開発・販売しています。得意分野は「電子部品製造装置」と「加工技術」です。電子部品製造装置では露光装置・穴あけ装置・トリミング装置・各種省力化装置、加工技術では精密部品微細加工・高精度金型加工・3次元高精度加工などの製品や技術を提供し続けています。
『お客様が真に満足していただける技術』をモットーにしており、現在も進化し続けています。
社名 | 株式会社 ベアック |
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本社所在地 | 長野県諏訪郡富士見町落合南原山9984-1097 |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | 0266-62-6858 |
公式HPのURL | http://www.beac.co.jp/ |
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