ここでは、アドバンテストの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | CP露光方式・VSB露光方式 |
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波長 | マルチな波長対応可 |
光源 | EB(電子ビーム) |
解像力 | 1Xnm |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
電子ビームを用いたEB露光装置。先端半導体プロセスに不可欠な微細な回路パターンを、1Xnmノードの高解像性能を用いて半導体ウエハに直接描画します。高い解像性能を誇るほか、アジャスタ機構により、多種多様なサイズ・形状・材質の基盤に使用可能。東大や京大などの大学、半導体関連企業にも納入されています。
アドバンテストでは、1Xnmノードの微細なパターンを直接描画できるEB露光装置(F7000シリーズ)を提供しています。
「セルフ・クリーニング機構」や「アジャスタ機能」の搭載により、長時間の安定稼働をキープしつつ、様々なサイズ・形状・材質の基板に描画できます。半導体ウエハはもちろん、特殊形状試料、MEMS/NEMS、バイオチップなどにも対応。
このような特性から、電子部品・デバイスにおける新製品の開発を進めて行きたい企業におすすめです。
国内大手の半導体テスタメーカーである、株式会社アドバンテスト。SoCテスト・システムやメモリ・テスト・システム、テスト・ハンドラ、デバイス・インタフェース、SSD試験装置、電子計測器など、多様な半導体デバイスの測定器や検査装置を開発製造しています。
アドバンテストの強みは、テスタ市場における圧倒的なプレゼンスと多様な人材です。従業員は約4,500人で、国籍50カ国に及ぶ多彩な人材登用を実施しています。
豊富な経営資源と積み重ねた技術・経験・世界各地に拠点を置くグローバルなネットワークを活かす、半導体試験分野のリーディング・カンパニーです。
社名 | 株式会社アドバンテスト |
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本社所在地 | 東京都千代田区丸の内1-6-2 新丸の内センタービルディング |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-3214-7500(本社) |
公式HPのURL | https://www.advantest.com/ja/ |
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