このページでは、2005年に設立された光学機器メーカーである株式会社フィジックステクノロジーについて、露光装置の特徴や製品事例をまとめました。

| 露光方式 | ステッパー |
|---|---|
| 波長 | 露光: 385nm / 位置決め: 590nm |
| 光源 | プロジェクタ |
| 解像力 | 1.5μm |
| 重ね合わせ精度 | 1~2μm |
株式会社フィジックステクノロジーの「SMART PRINT U」は、プロジェクタ技術を活用したマスクを必要としないマスクレス露光装置です。マスクを使用しないことでフレキシブルに微細加工を行うことが可能であり、メタレンズ/メタサーフェスの設計専門ソフト「PlanOpSim」を活用してニーズに対応する光学機能を追求することができます。また、デスクトップ型の露光装置として省スペースを考えられることもメリットです。
加えて、「SMART PRINT U」は「スタンダード」と「アドバンスド」の2つのグレード展開がされており、それぞれ最大露光面積やサブストレートサイズによって選択することができます。
株式会社フィジックステクノロジーの「SMART PRINT U」はマスクレス露光装置として卓上設置が可能なシステムです。任意のパターンを考えて微細加工できることが強みであり、マイクロ電子部品や光電子部品の開発、新素材の開発など色々なニーズに対応することができます。
サブストレートとしてシリコンやガラス、樹脂、金属といった各種マテリアルに対応し、多品種サンプルの試作などを行うメーカーや開発企業にもおすすめです。
株式会社フィジックステクノロジーは千葉県にある光学機器及び精密機器メーカーであり、2005年11月に設立されました。
光学関連の機械や周辺機器、計測機器の輸入販売や新規開発、新システムの設計といった多角的な業務を請け負っており、主要な取引先として民間企業の他に東京大学や大阪大学、京都大学、理化学研究所といった様々な学術機関や研究機関が挙げられていることもポイントです。
| 社名 | 株式会社フィジックステクノロジー |
|---|---|
| 本社所在地 | 千葉県市川市南八幡4-2-5 いちかわ情報プラザ |
| 営業時間 | ※公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 047-370-8600 |
| 公式HPのURL | https://physix-tech.com/ |
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