ミカサ

ここでは、ミカサの露光装置の特徴をご紹介します。

ミカサの主な露光装置

MA-20

Φ4インチ基板対応モデルのコンタクトマスクアライナーです。コンタクト方式（接触露光）によりフォトリソグラフィのパターン形成を可能にします。最大基板厚2㎜、最大マスクサイズ5×5インチなので様々な基盤に対応できる商品です。照度:14mW/㎠、(at405nm)、照度を一定に保てる照度均一性は±4.0％です。

MA-10B

タッチパネル式で操作性の良いマニュアルタイプのコンタクトマスクアライナーです。最大基板サイズはΦ4インチ、最大基板厚は2㎜、最大マスクサイズ5×5インチ、照度8mW/㎠(at405nm)、照度均一性±8.5％。マニプレーターステージが±50㎜可動するため、アライメント位置合わせを簡単に行えます。

MA-60F

Φ6インチ基板対応モデルのコンタクトマスクアライナーです。最大基板厚は2㎜、最大マスクサイズは7×7インチ、UVランプハウスはインテグレータータイプ、照度18mW/㎠(at405nm)、照度均一性±5.0％。ギャップ測長機能やUVランプ劣化補正機能を標準装備しています。

ミカサの露光装置はどんな人におすすめ？

ミカサ株式会社では、MA-20、MA-10B、MA-60Fなど、マニュアルタイプのコンタクトマスクアライナー(露光装置)を提供しています。

モデルごとにスペックは違いますが、不定形サイズの基盤・シリコン・ガラス・化合物・フィルムといった様々な材質への対応、操作性、基本性能の充実などは共通しています。基板サイズは5×5㎜～100×100㎜及びΦ6インチまで対応するほか、マスクホルダー・試料台の交換も簡単です。

ニーズに合うマスクアライナーを求めている企業、研究開発用途として高性能な露光装置を導入したい企業におすすめします。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

ミカサはどんな露光装置の会社・メーカー？

高品質な精密機器を提供する小型ラボ機メーカー

ミカサ株式会社は1921年(大正10年)に創業した、東京都港区芝公園に本社を構える小型ラボ機メーカーです。スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置などの精密機器を取り扱っています。

ポリシーの一つは、社員一人ひとりが常に顧客の立場で考え、顧客と同じ視点に立って商品を開発する努力を続けること。こうした顧客目線のスタンスを軸に、高付加価値製品を生み出すための技術開発を積極的に行い、さらなる顧客満足度の向上に努めています。

ミカサの修理メンテナンス体制は国内外にネットワークを持ち、高品質な製品の供給だけでなく、技術サポートの充実も図っています。信頼できる製品づくりとメンテナンス体制を確立している、信頼性のある会社です。

ミカサの会社情報

自社にあった露光装置は？
露光装置の種類を知る