三鷹光器

ここでは、三鷹光器の露光装置の特徴をご紹介します。

三鷹光器の主な露光装置

EUVL露光装置

EUVL露光装置は、半導体デバイス製造のプロセスに用いる縮小投影型露光装置(ステッパー)です。最大の特徴は、EUVL(極端紫外線 波長:10～14nm)を光源としていること。従来、ステッパーの光源は紫外線を用いていましたが、LSI(大規模集積回路)のさらなる高密度化・微細化の要求にこたえるため、本装置では紫外線よりさらに波長の短いEUVLを光源として採用。これにより、半導体メモリにおける集積能力に関して、従来の1000倍にアップすることを可能にしています。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

三鷹光器の露光装置はどんな人におすすめ？

三鷹光器では、紫外線よりも波長の短いEUVL(極端紫外線)を光源に用いたEUVL露光システムを提供。

その特徴は、超微細な露光パターンを描写する次世代の露光技術により、LSIやメモリの高密度化・高集積化を実現可能にしていることです。LSIのさらなる高集積化と高性能化を目指すメーカーの方におすすめです。

なお、EUVL露光システムに関する当社の説明によれば、本装置を用いた研究成果として、「0.04μm線幅の露光パターンを得ることに成功」しています。

三鷹光器はどんな露光装置の会社・メーカー？

天文・宇宙分野で培った光学技術で優れた製品開発

東京三鷹市に本社を構える三鷹光器は、天文・宇宙分野を得意とする精密機器メーカーです。創業以来、天文・宇宙関連で培った光学技術を活かし、医療機器、産業機器、宇宙開発、太陽エネルギー、ロストワックス等々、幅広い分野に向けて高性能な精密機器を提供しています。

営業品目は多岐にわたりますが、主力事業は医療機器。手術用顕微鏡装置、手術支援装置、ICG蛍光観察システムなど多彩な医療機器製造の実績をもつほか、北米市場における脳神経外科用の手術装置では非常に高いシェアを有しています。また、医療機器以外の各界でも高い評価を受けている研究開発型企業です。

三鷹光器の会社情報

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