共和理研

ここでは、共和理研の露光装置の特徴をご紹介します。

共和理研の主な露光装置

K-307PS95

コリメータータイプの卓上型マスクアライナーです。超高圧水銀灯を露光源とし、露光面積90mmφ、照度約10mW/㎠。教育実習向きの小型軽量モデルながら、効率よく露光できるマニュアルUV素行装置で、低価格も魅力です。

K-311PS100

卓上型・高性能インテグレータータイプのマスクアライナーです。露光源は超高圧水銀灯、照射経mmφ、主波長IIタイプ/IGタイプ、照度25mW/c㎡以上、均一度±5%以内、平行度±１度以内。高性能インテグレータータイプにより、照度の均一性を確保し、照度ムラの少ない露光をすることができます。

K-400PS95

専用架台付・コメリータイプのマスクアライナーです。露光源は超高圧水銀灯。露光面積90mmφ、照度約11mW/c㎡以上のスペックで両面露光できます。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

共和理研の露光装置はどんな人におすすめ？

共和理研では、半導体製造プロセスで欠かせないマスクアライナー(露光装置)を提供しています。

扱いやすい卓上型モデルのラインナップが豊富で、教育実習向きの「K-307PS95簡易型」をはじめ、高精度アライメントマニピュレーター「K-309PW95」、卓上型・高性能インテグレータータイプ「K-311PS100」、両面露光・専用架台付「K-400PS95」など多様な顔ぶれ。

様々な用途に使えて、設置場所を選ばない、卓上型マスクアライナーをお探しの方におすすめです。

共和理研はどんな露光装置の会社・メーカー？

露光工程のシームレスソリューションを
提供

共和理研は、東京都杉並区和泉に本社を置く高性能半導体機器の総合メーカーです。高い技術と開発力を生かし、スピンコーター・マスクアライナー・マイクロプローバー等、様々な研究開発用の技術製品を生産しています。

主要国内取引先は大手電機メーカーや研究機関、大学、専門学校が多いことから、同社の半導体機器業界におけるシェア、ネットワークの広さ、信頼性の高さが伺えます。半導体研究用機器のさらなる技術向上のため、日々の研究開発を怠らない熱心な研究開発型企業です。

共和理研の会社情報