ここでは、兼松PWS株式会社の露光装置の特徴をご紹介します。
| 露光方式 | 手動式マスクアライナ |
|---|---|
| 波長 | UV400 350~450nm/UV300 280~350nm/UV250 240~260nm |
| 光源 | 光源水銀ランプ200W, 350W/水銀キセノンランプ500W/UV-LED ( i, h, g線対応) |
| 解像力 | 公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
ズース・マイクロテックの手動式マスクアライナ(露光装置)です。最大4インチ角基板まで露光対応できるほか、高精度なアライメント、シンプルな操作性、高い露光解像性などの特徴があります。研究開発用途に限らず少量生産用途にも使用できます。
| 露光方式 | 手動式マスクアライナ |
|---|---|
| 波長 | UV400 350~450nm/UV300 280~350nm/UV250 240~260nm |
| 光源 | 光源水銀ランプ350W/水銀キセノンランプ500W/UV-LED ( i, h, g線対応) |
| 解像力 | 公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
最大8インチ対応角基板まで対応可能な、スース・マイクロテックのセミオートアライメント対応露光装置です。最適化されたアライメントマーク観察光学系と画像処理機能により、バラツキを抑えたアライメントを実現します。MEMS、光学部品の製造、R＆D(化合物半導体)、少量生産用途に最適な機種です。
兼松PWS株式会社では、手動マスクアライナ「MJB4/」「MA/BAGen4」など、ズース・マイクロテックのマスクアライナを提供しています。厚膜/薄膜のコーティングレイヤー用途に最適化された同社のマスクアライナは、高水準のアライメント精度を誇り、研究・開発用途から大量生産まで幅広い用途に対応する露光装置です。
MEMS、アドバンスドパッケージ、3次元パッケージング、化合物半導体、パワーデバイス、太陽光発電など各分野のリソグラフィー用途におすすめです。
兼松PWS株式会社は、兼松株式会社のグループ企業です。半導体・電子部品製造設備をメインとする技術専門商社として、親会社の広いネットワークを活かしながら、多岐にわたる半導体装置の提供と技術的なソリューション提供も行っています。
両面位置精度測定器、インクジェット装置、半導体用めっき液自動分析装置、マルチレーザーダイシング装置、ダイボンダー＆フリップチップボンダーなど豊富な品揃えも魅力。露光装置に関しては、ズース・マイクロテック社製品の日本国内総販売代理店でもあり、同社のマスクアライナー(露光装置)を取り扱っています。
| 社名 | 兼松PWS株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 神奈川県横浜市港北区新羽町925番地 |
| 営業時間 | 公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 045-544-1811 |
| 公式HPのURL | https://www.pwsj.co.jp/ |
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精密な製品の品質の向上や生産効率の改善が求められる製造業界では、露光装置が重要な役割を果たします。限られた予算の中で生産効率を最大化しつつコスト削減を図るためには、製品ごとに異なるニーズに応えることができる露光装置を選ぶことが重要です。そこでおすすめの露光装置メーカー3選をご紹介します。
画像引用元：サーマプレジション（https://www.cerma.co.jp/2021/08/20/post-5456/）
画像引用元：Nikon（https://www.jp.nikon.com/company/technology/product/fpd/）
画像引用元：Canon（https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa6300es6a.html）