ここでは、兼松PWS株式会社の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 手動式マスクアライナ |
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波長 | UV400 350~450nm/UV300 280~350nm/UV250 240~260nm |
光源 | 光源水銀ランプ200W, 350W/水銀キセノンランプ500W/UV-LED ( i, h, g線対応) |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
ズース・マイクロテックの手動式マスクアライナ(露光装置)です。最大4インチ角基板まで露光対応できるほか、高精度なアライメント、シンプルな操作性、高い露光解像性などの特徴があります。研究開発用途に限らず少量生産用途にも使用できます。
露光方式 | 手動式マスクアライナ |
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波長 | UV400 350~450nm/UV300 280~350nm/UV250 240~260nm |
光源 | 光源水銀ランプ350W/水銀キセノンランプ500W/UV-LED ( i, h, g線対応) |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
最大8インチ対応角基板まで対応可能な、スース・マイクロテックのセミオートアライメント対応露光装置です。最適化されたアライメントマーク観察光学系と画像処理機能により、バラツキを抑えたアライメントを実現します。MEMS、光学部品の製造、R&D(化合物半導体)、少量生産用途に最適な機種です。
兼松PWS株式会社では、手動マスクアライナ「MJB4/」「MA/BAGen4」など、ズース・マイクロテックのマスクアライナを提供しています。厚膜/薄膜のコーティングレイヤー用途に最適化された同社のマスクアライナは、高水準のアライメント精度を誇り、研究・開発用途から大量生産まで幅広い用途に対応する露光装置です。
MEMS、アドバンスドパッケージ、3次元パッケージング、化合物半導体、パワーデバイス、太陽光発電など各分野のリソグラフィー用途におすすめです。
兼松PWS株式会社は、兼松株式会社のグループ企業です。半導体・電子部品製造設備をメインとする技術専門商社として、親会社の広いネットワークを活かしながら、多岐にわたる半導体装置の提供と技術的なソリューション提供も行っています。
両面位置精度測定器、インクジェット装置、半導体用めっき液自動分析装置、マルチレーザーダイシング装置、ダイボンダー&フリップチップボンダーなど豊富な品揃えも魅力。露光装置に関しては、ズース・マイクロテック社製品の日本国内総販売代理店でもあり、同社のマスクアライナー(露光装置)を取り扱っています。
社名 | 兼松PWS株式会社 |
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本社所在地 | 神奈川県横浜市港北区新羽町925番地 |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | 045-544-1811 |
公式HPのURL | https://www.pwsj.co.jp/ |
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