エヴァンリード

ここでは、エヴァンリードの露光装置の特徴をご紹介します。

エヴァンリードの主な露光装置

MDA-400LJ

UV LED（365nm）を光源とするマスクアライナーです。半永久的にランプ交換が不要な安価モデルは、小さいピース形状から最大4インチウエハまで対応しています。小スペースな上操作も簡単。学校の研究室用に適しています。

MDA-400M

学校研究室用に適した高性能のマニュアル式マスクアライナーです。コンパクトサイズながら高い性能を備え、小さいピース形状から最大4インチウエハまで処理可能です。小スペースなうえ操作性も良好。

MDA-600S

ハイコストパフォーマンスなUV露光装置です。コンパクトな形状でありながら基板サイズは小ピースから最大6インチウエハまで処理可能なほか、防塵メカニズムも備えています。学校、研究所、デバイスメーカーの準量産用などに適しています。

エヴァンリードの露光装置はどんな人におすすめ？

エヴァンリードでは、MDA-400LJ、MDA-400M、MDA-600Sなどの複数モデルを提供しています。コンパクトな装置サイズと高性能を備えたマスクアライナーです。

MDA-400LJ、MDA-400はコンパクトながら処理能力が高く、小スペースなうえ、操作も簡単。MDA-600Sは、コンパクトな装置サイズに防塵メカニズムを搭載するハイコストパフォーマンスな露光装置です。

いずれも優れた技術を結集したマスクアライナーであり、大学や研究機関への納入実績もあります。高性能なマスクアライナーを導入して成果を上げたい企業におすすめです。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

エヴァンリードはどんな露光装置の会社・メーカー？

設計・開発・製造・販売まで手がける半導体製造装置メーカー

エヴァンリード株式会社は、2009年7月に設立された半導体製造装置メーカーです。半導体製造装置の設計・開発・製造・販売、装置技術サービスを主力としています。エヴァンリードが提供するマスクアライナー（露光装置）は主力製品の一つ。優れた技術を結集したマスクアライナーの各モデルは大学や研究開発機関へ納入実績を積み重ねており、製品と会社の存在感を向上させています。

エヴァンリードは「エヴァンジェリスト（福音の伝道師）」と「リード（先導する）」からなる造語です。この社名に込められた理念に恥じないように、世の中と人々を幸せにするものを、世界中に伝え広めていくことを使命としています。

エヴァンリード株式会社の会社情報

自社にあった露光装置は？
露光装置の種類を知る