エリオニクス

ここでは、エリオニクスの露光装置の特徴をご紹介します。

エリオニクスの主な露光装置

電子ビーム描画装置　ELS-BODEN Σ

ELS-BODEN Σは、エリオニクスが新たに開発、製造した電子ビーム描画装置です。伝統的なエリオニクス鏡筒技術を継承し、従来製品比4倍の速度でのビームスキャンができるのが特徴です。 高精細なパターンを優先させる仕様や共通設備などの多種多様な要望に対応する仕様など、顧客のニーズに合わせて加速電圧を調整できます。MPWS( フィールド重合せ描画 ) にも適した装置です。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

エリオニクスの露光装置はどんな人におすすめ？

エリオニクスの電子ビーム描画装置は、研究・開発用途から微細加工を行う多品種少量生産用途にも対応できるのが特徴です。基本クロック周波数400MHzの高速ビームスキャンを可能にした機種では、 研究用途はもちろん、生産用途の装置として活用できます。研究用途はもちろん生産用途として高品質な製品をスピーディに仕上げたい方におすすめです。

エリオニクスはどんな露光装置の会社・メーカー？

創業45年の研究開発実績がある

エリオニクスは、1975年の創業以来、時代に合わせたナノテクノロジーの研究開発用装置を提供しています。電子ビーム描画装置をはじめ、イオンエッチング装置や超高スループット電子ビーム加工装置など豊富な来ナップを取り揃えて販売及び保守メンテナンスのサービスを行っています。予約制で、購入前の製品デモンストレーションを行っているので、性能や用途をしっかりと確かめてから導入できます。公的機関をはじめ国内外の教育機関などに導入した実績があります。

エリオニクスの会社情報