ここでは、アドテックエンジニアリングの露光装置の特徴をご紹介します。
| 露光方式 | ダイレクトイメージ |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | UV-LED |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
独自技術で、品質・スピード・安定性の優れたシステムバランスを実現する、量産ライン対応の全自動デジタル露光機です。独自のレーザーユニットに、先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載し、高精細描画と高速露光を高い次元で両立。クランプをはじめとした新機能により、イレギュラー基板への対応力も向上し、装置停止時間を極限まで削減、安定した稼働で1日の生産量を達成してくれます。
| 露光方式 | ※公式HPに記載なし |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | ※公式HPに記載なし |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
1991年から生産を行っている、安定性に優れた露光装置です。長年培った技術力で多彩な製品ラインナップを展開し、世界のPCB製造工場で導入実績が豊富。 内層・外層・ソルダーレジスト・FPC/TSPなど、生産工程、製造方法に合わせた豊富な製品ラインナップが魅力です。
| 露光方式 | ※公式HPに記載なし |
|---|---|
| 波長 | ※公式HPに記載なし |
| 光源 | ※公式HPに記載なし |
| 解像力 | ※公式HPに記載なし |
| 重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
半導体のFOパッケージ、有機パッケージ基板（先端BGA）などに向けて作られた直描式露光装置です。高精度ステージによりオーバーレイ：±1μmを、先端鋭光学系を搭載しL/S：2/2μmを達成することで、高精度高解像度を実現。米国デカテクノロジー(Deca Technologies)社のAdaptive PatterningTMとの統合により、マルチチップFOにも対応しています。
400機種以上のFA装置を設計・製作してきたノウハウをもとに、露光装置の製造・開発に注力しているアドテックエンジニアリング。全自動コンタクト露光装置から先端のデジタル露光装置まで、幅広いラインナップが魅力です。
自社内生産を行っているため、装置の製造だけでなく、材料や搬送方法、製作プロセス等に合わせた提案や、開発・保守にも対応。納入後も、24時間フルタイムサポート体制をとってくれるので、ニーズに合わせた適切なサポートをして欲しい方、自社に合わせた装置が欲しい方におすすめです。
露光装置は製造工程の一部で使用するものであるため、単体では機能しません。この点から、前後の工程や装置内部で連携する主な周辺機器も同一のメーカーで揃えることがおすすめであると言えます。ここでは、アドテックエンジニアリングの周辺機器や補助装置をご紹介します。
現像前のプリント基板において、ドライフィルムフォトレジストの表面に貼られているポリエステルのカバーフィルムをエアーブローではなく粘着ローラーで剥離する装置です。剥離後は現像装置に供給を行います。オプションにてHEPAフィルタによるダウンフローにも対応が可能となっています。基板の厚さは0.025mm～3.2mmとなっていることから、極薄の基板にも対応できます。
※詳細の仕様は直接お問い合わせください。
高密着フィルムの自動剥離に対応したオートピーラーです。さまざまなワークに利用でき、半導体や電子部品向けの極薄フィルム・アクリルガラスなどの保護フィルムにも対応しています。ナーリングレスの剥離切っ掛け自動作成機能によって、安定的な剥離が可能。基板へのダメージも少なくすることができます。
※詳細の仕様は直接お問い合わせください。
| マーキング形式 | UV-LEDによる露光マーキング |
|---|---|
| LED波長 | 405mm |
| マーク数 | 4個（表裏2個）×前後2ヶ所 |
| マーク位置繰り返し精度 | ±0.5mm |
| 表裏マーク位置繰り返し精度 | ±10μm |
| バスライン高さ | 950±50mm |
| 装置重量 | 100kg |
アライメントマーキング装置は、内層基板の基準穴加工の工程を削減できる機器です。導入事例としては、露光装置に連接設置を行うことによって、基板にラミネートされたDFRにUV露光を照射して、基準マークの形成を行うことが可能です。
1983年に創業し、東京本社のほか長岡事務所（新潟）、横浜と大宮にテクニカルセンターを構える産業用自動化装置メーカーです。超精密機械の加工技術を中心に、電子工学技術・機械制御技術・光学技術・ソフトウェア技術・画像処理技術といったさまざまな技術を融合してきた同社では、これまでに400種類以上の装置開発を手掛けています（※）。特に自動露光装置に力を入れており、販売シェアを拡大しています。
自社内に加工設備を保有していることから、ユーザーからの要望があった場合に迅速に対応が可能。製造からメンテナンスまで一貫したサポートを提供しています。
※2025年7月時点、公式サイトより（https://www.adtec.com/products/factory-automation/）
| 社名 | 株式会社アドテックエンジニアリング |
|---|---|
| 本社所在地 | 東京都港区三田三丁目5番19号 住友不動産東京三田ガーデンタワー31階 |
| 営業時間 | ※公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 03-6369-9800 |
| 公式HPのURL | https://www.adtec.com/ |
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精密な製品の品質の向上や生産効率の改善が求められる製造業界では、露光装置が重要な役割を果たします。限られた予算の中で生産効率を最大化しつつコスト削減を図るためには、製品ごとに異なるニーズに応えることができる露光装置を選ぶことが重要です。そこでおすすめの露光装置メーカー3選をご紹介します。
画像引用元：サーマプレジション（https://www.cerma.co.jp/2021/08/20/post-5456/）
画像引用元：Nikon（https://www.jp.nikon.com/company/technology/product/fpd/）
画像引用元：Canon（https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/fpa6300es6a.html）