ユメックス

ここでは、ユメックスのダイレクト露光装置の特徴をご紹介します。

ユメックスの主な露光装置

ダイレクト露光装置

Texas Instruments社の0.7XGA DMDを用いたマスクレス露光装置です。兵庫県立大学大学院工学専攻科 前中助教授との共同研究によって開発されました。水銀ランプ光源、アライメント照明用フィルタおよびシャッタ、コリメー ト光学系、縮小投影光学系、露光面モニタカメラ、フォーカシング用変位計、露光ステージ、システム制御用 PCから構成されています。

1ショットの露光サイズが約 4×3㎟のため、ウエハ全面へ露光する際にはステージを移動しながら複数回露光を行う必要がありますが、露光データをつなぎ合わせることで、大きなチップサイズのデータも露光することが可能です。紫外線用の DMD を採用したことで、i線からg線まで幅広い波長に対応した設計を行うことができます。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

ユメックスの露光装置はどんな人におすすめ？

通常のアライナーとしての機能だけでなく、中間調画像をデータとして与えることによりハーフトーン露光が可能。公式サイトには、MEMSの試作をはじめ、高周波用ストリップ線路・プリント基板の試作、露光データを毎回変更する必要があるタイトラーとしての使用など、幅広い応用が可能と記載があります。

1ドットあたりの露光サイズの仕様変更や、ステージ移動量・位置決め精度等についての仕様変更が可能なので、ニーズに合わせた研究用装置が欲しい方におすすめです。

ユメックスはどんな露光装置の会社・メーカー？

日常のさまざまなシーンを快適にするソリューション・サポートを提供

兵庫県姫路市をはじめ、台湾、シンガポール、韓国にも拠点を展開し、各種産業用・照明用光源、光源装置の製造販売を行っています。

生活に欠かせない「光」を通じた、ビジネスシーンや日常のライフステージでの様々なシーンをより快適にするためのソリューション・サポートを提供。FPD(フラットパネルディスプレイ=薄型テレビ)やPCB(プリント基板)等の製造ラインに使われる露光用大型水銀ショートアークランプをはじめ、デジタル映写機用Xeランプ等、さまざまな産業分野で製品が幅広く利用されるなど、特殊放電ランプメーカーとしての高い評価を獲得しています。

企業としても、「顧客満足」を第一とし、人を基準とした高品質の「ものづくり」を追求。企業全体で地球環境にも心をくばり、環境負荷の少ない水銀レス紫外線光源、レアメタルの消費を大幅に削減する省資源ランプの開発など、より身近にエコを感じられる次世代製品の展開を目指しています。

ユメックスの会社情報

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