ここでは、清和光学製作所の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | コンタクト・プロキシミティ |
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波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | Top side:±0.8μm以下/Back side:±1μm以下 |
高精細露光を実現した独自のUV光学系と、フォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用。バキュームコンタクト、ソフトコンタクト、プロキシミティーまで対応した全自動露光装置です。パワーデバイス、C-MOS裏面、MEMS、LED、セラミック等の用途におすすめです。
露光方式 | コンタクト・プロキシミティ |
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波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | ウエハー露光装置 LED用=UV-LED |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 0.5μm以下 |
2~4インチ兼用/4~6インチ兼用タイプの全自動露光機です。光源にLEDを採用しているので、従来の水銀ランプ光源にくらべてランニングコストがかからない上、CO2も削減でき、環境を気にする方にもおすすめ。独自の光学系によるハイスループットで生産に寄与してくれます。
露光方式 | 全自動 |
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波長 | ※公式HPに記載なし |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | ±1μm |
バキュームコンタクト、ソフトコンタクト、プロキシミティーまで対応した全自動露光装置です。G5以上の大サイズマスクには縦型を、G4.5以下のマスクには水平型がおすすめ。CF、TP、FPD全般の用途に適しています。
ウエハ露光装置(マスクアライナー)、ウエハ露光装置(マスクアライナー) 研究開発用、ウエハ露光装置 LED用、ガラス露光装置、フィルム露光装置、FPC露光装置、投影露光装置、マイクロLED露光装置 μ LED Exposure Systemなど、多様な露光装置を製造・開発している清和光学製作所。研究開発,小ロット生産といった多用途に対応が可能な装置から、ハイスループットで生産に寄与する量産型まで、幅広い装置を製造しています。
会社の方針として「お客様の声を形にする」を徹底しているので、自社の現場や製品に合った装置が欲しい方におすすめです。
レンズやミラーを用いた特殊精密光学機器、産業装置などを設計、製造、販売している光学機器メーカーです。
1964年の創業以来、自社ブランドの顕微鏡づくりからスタートし、光学技術から光電変換素子を用いた画像光学技術へ、さらにファクトリーオートメーションで使われる自動位置決め検査用の光学ユニット、テレビのパネルの欠損をレーザーで修正するレーザーリペア装置など、産業装置の開発・製造へと事業を拡大。現在は、自社装置のメンテンナンスなど、サービス事業も展開しています。
大型レンズ・ミラーの加工ができる高い光学技術と、顧客ニーズに合わせた特注製品づくりを行うニーズカスタマイズ力などが強み。リピーターも非常に多く、顧客からの厚い信頼を得ています。
社名 | 株式会社清和光学製作所 |
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本社所在地 | 東京都中野区弥生町4-12-17 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-3383-6301 |
公式HPのURL | https://www.seiwaopt.co.jp |
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