ここでは、リソテックジャパンの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | ステップ露光 |
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波長 | 248nm, 365nm, 405nm, 436nm、およびブロード光 |
光源 | Hg-Xeランプ |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
フォトレジストの実験用オープンフレーム露光装置です。高圧水銀ランプ(Hg-Xe)を搭載し、フィルタにより「436」「405」「365」「248」の光、さらにはブロード光での露光をお小茄子ことができます。オプションとしてABCパラメータ測定機能、アウトガス捕集機能を搭載可能です。
露光方式 | ステップ露光 |
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波長 | 248nm, 365nm, 405nm, 436nm およびブロード光 |
光源 | Hg-Xeランプ |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
UVES-2000の高照度(50mW/cm²)・自動搬送仕様の実験用オープンフレーム露光装置です。フィルターを替えることにより、248、365、405、436nm、およびブロード光を選択することができます。また本システムの利用により、高額なステッパやスキャナーを使用することなく、感光性樹脂の感度評価が可能です。
露光方式 | 公式HPに記載なし |
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波長 | 193nm |
光源 | ArFエキシマレーザー |
解像力 | 公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | 公式HPに記載なし |
193nm対応のフォトプロセス解析用露光装置です。ArFエキシマレーザーを搭載するほか、オプションとして「アウトガス捕集ユニット」「透過率測定機能(ABCパラメータ測定)」「夜浸露光ステージ」等も搭載できます。
リソテックジャパンでは、フォトレジストの研究開発用露光装置を豊富に提供しています。実験用オープンフレーム露光装置、電子線露光装置、EUV露光装置、自動搬送EUV露光装置、EUVアウトガス評価装置、EUVミラーUVオゾンドライクリーナなど様々な種類の装置を取り扱っており、ラインナップが豊富です。フォトレジストの材料開発やプロセス開発を進めたい方におすすめな製品が揃っています。
リソテックジャパン株式会社は、埼玉県川口市並木に所在するフォトプロセス解析露光装置の製造会社です。リソグラフィのスペシャリストとして、「現像速度解析装置」「リソグラフィ・シミュレータ」「コーター」「デベロッパ」「最先端プロセス評価用露光システム」など、様々な微細加工プロセス用評価、及び製造装置の開発・製造・販売・輸出入・保守サービスまで幅広く手がけています。
リソグラフィーシミュレーションパラメータ測定サービスや、感光性材料の特性評価サービス、アウトガス分析サービス、ナノインプリント実験サービスなど、技術サービスやコンサルティングのサービスメニューも豊富です。当社が提供する各種の製品開発やサポート活動は、顧客のニーズを的確に捉えています。
社名 | リソテックジャパン株式会社 |
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本社所在地 | 埼玉県川口市並木2-6-6 |
営業時間 | 公式HPに記載なし |
電話番号 | 048-258-6775 |
公式HPのURL | https://www.ltj.co.jp/index.php |
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