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露光装置のおすすめ3選
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リソテックジャパン

ここでは、リソテックジャパンの露光装置の特徴をご紹介します。

リソテックジャパンの主な露光装置

UVES-2000

UVESシリーズ

引用元:リソテックジャパン
https://www.ltj.co.jp/resist.php?eid=00002#product_1
露光方式 ステップ露光
波長 248nm, 365nm, 405nm, 436nm、およびブロード光
光源 Hg-Xeランプ
解像力 公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 公式HPに記載なし

フォトレジストの実験用オープンフレーム露光装置です。高圧水銀ランプ(Hg-Xe)を搭載し、フィルタにより「436」「405」「365」「248」の光、さらにはブロード光での露光をお小茄子ことができます。オプションとしてABCパラメータ測定機能、アウトガス捕集機能を搭載可能です。

UVES-2500

UVESシリーズ

引用元:リソテックジャパン
https://www.ltj.co.jp/resist.php?eid=00002#product_1
露光方式 ステップ露光
波長 248nm, 365nm, 405nm, 436nm およびブロード光
光源 Hg-Xeランプ
解像力 公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 公式HPに記載なし

UVES-2000の高照度(50mW/cm²)・自動搬送仕様の実験用オープンフレーム露光装置です。フィルターを替えることにより、248、365、405、436nm、およびブロード光を選択することができます。また本システムの利用により、高額なステッパやスキャナーを使用することなく、感光性樹脂の感度評価が可能です。

ArFES-3000

ArFES

引用元:リソテックジャパン
https://www.ltj.co.jp/resist.php?eid=00002#product_1
露光方式 公式HPに記載なし
波長 193nm
光源 ArFエキシマレーザー
解像力 公式HPに記載なし
重ね合わせ精度 公式HPに記載なし

193nm対応のフォトプロセス解析用露光装置です。ArFエキシマレーザーを搭載するほか、オプションとして「アウトガス捕集ユニット」「透過率測定機能(ABCパラメータ測定)」「夜浸露光ステージ」等も搭載できます。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

リソテックジャパンの露光装置はどんな人におすすめ?

リソテックジャパンでは、フォトレジストの研究開発用露光装置を豊富に提供しています。実験用オープンフレーム露光装置、電子線露光装置、EUV露光装置、自動搬送EUV露光装置、EUVアウトガス評価装置、EUVミラーUVオゾンドライクリーナなど様々な種類の装置を取り扱っており、ラインナップが豊富です。フォトレジストの材料開発やプロセス開発を進めたい方におすすめな製品が揃っています。

リソテックジャパンはどんな露光装置の会社・メーカー?

露光工程のシームレスソリューションを
提供

リソテックジャパン株式会社は、埼玉県川口市並木に所在するフォトプロセス解析露光装置の製造会社です。リソグラフィのスペシャリストとして、「現像速度解析装置」「リソグラフィ・シミュレータ」「コーター」「デベロッパ」「最先端プロセス評価用露光システム」など、様々な微細加工プロセス用評価、及び製造装置の開発・製造・販売・輸出入・保守サービスまで幅広く手がけています。

リソグラフィーシミュレーションパラメータ測定サービスや、感光性材料の特性評価サービス、アウトガス分析サービス、ナノインプリント実験サービスなど、技術サービスやコンサルティングのサービスメニューも豊富です。当社が提供する各種の製品開発やサポート活動は、顧客のニーズを的確に捉えています。

リソテックジャパンの会社情報

社名 リソテックジャパン株式会社
本社所在地 埼玉県川口市並木2-6-6
営業時間 公式HPに記載なし
電話番号 048-258-6775
公式HPのURL https://www.ltj.co.jp/index.php

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