日立ハイテクファインシステムズ

ここでは、日立ハイテクファインシステムズの露光装置の特徴をご紹介します。

日立ハイテクファインシステムズの主な露光装置

大型ガラス基板露光装置 LE4000A

LE400Aは、高処理速度(18秒/枚(露光時間を除く)と高解像度を備えるカラーフィルタガラス基板露光装置です。独自開発した“高精度光学式アライメント”や“高速高精度プロイシミティギャップ制御”などにより、高速・高精度・高信頼性を実現しています。対応基板サイズは最大400mm x 500mm。インライン化対応です。

大型ガラス基板露光装置 LE0200SD

LE0200SDは、第8世代2200mm×2500mmの大型ガラス基板(カラーフィルター)に対応する量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置です。57インチは6面、47インチは8面に瞬時の露光ができるなど高処理速度(30秒/枚(露光時間を除く)と高解像力を備えるほか、高精度はそのままに露光時間を短縮できる高生産性も実現しています。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

日立ハイテクファインシステムズの露光装置はどんな人におすすめ？

日立ハイテクファインシステムズでは「LE400A」や「LE0200SD」といった、大型液晶ディスプレイに対応するガラス基板露光装置を提供しています。特色的なのは、高精度・高解像力など高いスペックを持ちながら、同時に精度はそのままに露光時間の短縮とリードタイムを改善し、高生産性・高精度を実現していることです。

同様の製品はLE400AやLE0200SD以外にも「LE0300S」、「JK8000(ガラス傷検査装置)」、「AL/AB7000シリーズ」など豊富なラインナップがあります。高精度＆高効率生産を実現する大型液晶ディスプレイ製造・検査装置の導入を検討している方におすすめです。

日立ハイテクファインシステムズはどんな露光装置の会社・メーカー？

ハイテク・ソリューション事業における世界一を目指して！

日立ハイテクファインシステムズは、埼玉県児玉郡上里町に本社を構える製造・検査システムサプライヤーです。鉄道関連の検査装置など社会インフラ事業や、産業自動化設備システム・ハードディスク・液晶製造・検査装置など産業インフラ事業において、設計、製造、販売、保守サービスに至るまでワンストップで対応しています。

当社の強みは、ワールドワイドに展開する日立ハイテクグループネットワークを活用できること。日立ハイテクの「ハイテクプロセスをシンプルに」「私たちは、最先端分野でお客様の飛躍と成長をお手伝いします」のポリシーのもと、当社はハイテク・ソリューション事業における世界一を目指して事業活動に取り組んでいます。

日立ハイテクファインシステムズの会社情報