平田機工株式会社

ここでは、平田機工株式会社の露光装置の特徴をご紹介します。

平田機工株式会社の主な露光装置

300/200mm・200/150mmプリアライナ

センサー方式で非接触が特徴です。オリフラタイプやノッチタイプに対応します。補正精度は±0.2、アライメント時間2秒以下です。高速処理と高アライメントが期待できます。最小限の面積で、パーティクルの発生を抑えられるのも強みです。

300mm エッジグリップアライナ

エッジグリップ方式で、ウエーハ裏面に接触しないため、パーティクル汚染を抑制します。高分解能アブソリュートACサーボモータを搭載して、高速、高精度です。ウエーハグリップセンサで、把持を確認できます。さらに、導電性材料の採用と導電性表面処理をしているため、ESD対策も期待できるのです。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

平田機工株式会社の露光装置はどんな人におすすめ？

パーティクル対策を備えている露光装置を求めている方に適しています。高速で高精度ですから、生産力と効率化を検討している方にもぴったりです。非接触というこだわりを持っている方もいいでしょう。

平田機工株式会社はどんな露光装置の会社・メーカー？

活人倍力という思想で提案

活人倍力とは、人を減らすのではなく付加価値の高い仕事で人を活かすという造語を思想として掲げている企業です。自動車、半導体、家電など幅広い産業分野で事業展開しています。

開発、提案、設計、部品製造や組立、検証、生産立ち上げや保守とサービスまで一貫体制です。DXを推進して、製造現場の技術革新にも積極的にチャレンジしています。

顧客が求めるコスト、品質、安全性、生産効率を実現するため、ものづくりに必要な、研究開発や管理部門といった各分野により生産エンジニアリングを構築している企業です。国内限定ではなく、世界40カ国のグローバルな現場で得た知識とノウハウでサポートしてくれます。運用から、メンテナンスとアップデートまで、柔軟で迅速に対応できる体制があるのです。

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