ここでは、サーマプレシジョンの露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | ステッパー |
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波長 | i線 |
光源 | UV-LED |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
LED光源を標準で搭載しており、従来の水銀ランプ光源にくらべてランニングコストがかかりません。CO2も出ないので、環境を気にする方にもおすすめ。8インチ以下は一括露光方式を使用するため、一括露光できるエリアが大きいのが特徴。12インチはステップ&リピート露光方式の選択が可能です。ニーズに合わせたカスタマイズにも対応してくれます。
露光方式 | FPD・ステッパー |
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波長 | i線 |
光源 | UV-LED |
解像力 | 1.4µm |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
650×550mmのフルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。LED光源を標準搭載。ダイダイアライメント方式とグローバルアライメント方式にで露光を行います。解像力(L/S)が2μmのインターポーザーをはじめ、高精細・高精度・高生産性が必要な半導体後工程、RFフィルター、パワー半導体、電子部品、パッケージ、研究、MEMSなどの用途におすすめです。
露光方式 | ※光源ユニット |
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波長 | i線、h線 |
光源 | UV-LED |
解像力 | ※公式HPに記載なし |
重ね合わせ精度 | ※公式HPに記載なし |
露光機用のUV-LEDランプです。各種光学仕様に合わせたカスタマイズが可能。水銀ランプと同等以上の照度があるので、プロキシミティ/コンタクトアライナーの光源と置き換えれば、大幅なランニングコストダウンを実現することができます。
サーマプレシジョンの露光装置の一番の特徴は、UV-LED光源を使用している点です。
シリコン・サファイア・水晶・リフルサイズ基板にチウムタンタレートなどの様々なウエハ、セラミック、パッケージ等の基板に対応しているASSシリーズ、フルサイズ基板に対応するFPSシリーズ、生産性とローコストを両立させたMMSシリーズなど、同社が製造するすべての露光装置でUV-LED光源を標準装備。水銀ランプ2kWでは年間270万円ほどかかるランニングコストが、UV-LEDなら3万円程で済む上、CO2の排出量も減らせます。
古い露光装置を変えたい、せっかくならランニングコストや環境に配慮した装置を検討したい方におすすめです。
1976年の創業以来、「技術を語れる商社」として、プリント基板をはじめ、半導体・LCD・PDPといった主要電子部品の製造装置、検査分析装置の販売など行っています。
長年のレジスト塗布経験を活かして、高性能な塗布装置や露光装置を開発・製造。ウエハにフォトレジスト(光感光性樹脂)を塗布する塗布工程から、フォトマスク(ガラス基板上に回路パターンが描画された原板)のパターンを光(紫外線)で転写する露光工程、現像/エッチング工程、めっき工程、後工程まで、露光工程のシームレスソリューションを提供しています。
社名 | 株式会社サーマプレシジョン |
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本社所在地 | 東京都 江東区 冬木16-1 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-3643-2921 |
公式HPのURL | http://www.cerma.co.jp/ |
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