オオクマ電子株式会社では露光装置として「ORES-5000シリーズ」を展開し、クライアントのニーズに合わせたカスタマイズなどを行っています。
露光方式 | 空冷YAG/水冷YAG |
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波長 | 266nm/355nm/532nm/1064nm(※いずれかを選択) |
光源 | YAGレーザー |
解像力 | 要問合せ |
重ね合わせ精度 | 要問合せ |
オオクマ電子株式会社が開発している微細レーザーを活用した露光装置です。光源としてYAGレーザーを採用しており、レーザーの波長についても複数の範囲から任意の波長を選択して露光装置へ搭載できることも見逃せません。
高精度ステージと高解像度光学システムの併用によって、精密な加工作業や露光処理を行っており、レンズ倍率も明視野や暗視野などに合わせて設定できることが強みです。また、対象のワークや条件に応じてレンズWDをオプション変更し、ステージサイズについてもカスタム対応できるため、色々な環境や条件に応じた利用法を検討可能です。
なお、CADデータのインポートや編集をオプション機能として対応することもできます。
オオクマ電子株式会社の「ORES-5000シリーズ」は超微小径のYAGレーザーをベースとして、自由度の高いカスタマイズ性によって様々な利用シーンや露光装置ニーズへ対応できることが特徴です。
観察画像を目視でチェックしつつマニュアルによる加工を行ったり、CADデータと連携させて作業の効率化を進めたりできるなど、自社の技術力や既存システムとの互換性を考慮として活用法を検討できます。
そのため、まずは自社のニーズにどれだけマッチさせられるのか、相談することがおすすめです。
オオクマ電子株式会社は1973年に設立された電子機器メーカーです。日本全国の民間企業や研究機関、学術機関といった様々なクライアントに対して、露光装置や半導体製造機器、各種制御システムなどを提供しており、それぞれのニーズに合わせて製品のカスタマイズや新規開発を相談できることも魅力でしょう。
なお、自社一貫体制の開発環境によって低コスト化を推進していることもポイントです。
社名 | オオクマ電子株式会社 |
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本社所在地 | 熊本県熊本市東区長嶺西1丁目8番104号 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-6433-3600 |
公式HPのURL | http://okmele.jp/ |
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