ピーエムティー

ここでは、ピーエムティーの露光装置の特徴をご紹介します。

ピーエムティー の主な露光装置

マスクレス露光装置PLS-3000

「早い・安い・高精度」のコンセプトのもと作られた、DMDを使用したマスクレス描画装置です。ステップ＆スキャン方式で描画するため、 100mm×100mmの範囲を約10分で描画可能。描画データはDXF、CIF、GDSII、Gerber、BMPなど各種フォーマットに対応しており、この装置自体でマスクを作成する事もできます。装置費用も、ステッパーや電子線描画装置と比べ、 数分の一～数十分の一程度と非常にリーズナブルなのが特徴です。

ミニマル マスクレス露光装置

クリーンルームいらずのミニマル仕様の露光装置です。焦点合わせやアライメントを全て自動化し、スタートボタンを押すだけのシンプル操作を実現。光源にはLEDを採用しているので、光源の寿命の心配がいらない上、装置のダウンタイムやランプ交換のコストをできる限り削減することができます。

マスクレス露光装置D-light DL-1000

DMDによる高速時間変調によって、256諧調のグレースケール露光が可能です。レジストの三次元加工が簡単にできるため、市場の新たなニーズにも対応できます。各種半導体デバイスの開発、少量多品種のデバイス製造ライン、大型ディスプレイ用フォトマスク製造などにおすすめです。

ピーエムティーの露光装置はどんな人におすすめ？

ピーエムティーが製造・販売する露光装置は3種類（2021年8月時点）ですが、いずれも半導体デバイスの試作など、少量多品種向けの装置となっているのが特徴です。

マスクレス露光装置によって、通常時間がかかるMEMSデバイスの試作開発時間を劇的に短縮。その上、現実的なコストで極少量生産を可能にしてくれます。何度も試作が必要なMEMSデバイスの開発現場、既存機能の性能向上や小型化・軽量化を計りたい方などにおすすめです。

光源・コスト・解像力で
比較
【量産向き】
おすすめ露光装置5選

ピーエムティーはどんな露光装置の会社・メーカー？

産業分野を問わないモノづくり企業

1991年に半導体製造装置の専門商社として創業以来、精密部品加工、機械・装置、ロボティクス、健康経営ソリューションといった、時代が求める事業を次々と発展させてきました。

限られた空間にも設置できる小型微細加工機Micro MCシリーズや、半導体デバイスの試作を効率化するマスクレス露光装置など、超精密軸制御技術をコアとした多彩な要素技術で、革新的な製品を製造・販売。

「オープンイノベーションカンパニー」を標榜しており、社内外の技術やアイディア、ノウハウなどを積極的に取り入れ、分野の枠にとらわれないモノづくりを行っています。

ピーエムティーの会社情報

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