ここでは、分割投影露光装置で高い市場シェアを誇るウシオ電機の露光装置の特徴をご紹介します。
露光方式 | 一括露光 |
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波長 | i線 |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | 2μmL/S〜 |
重ね合わせ精度 | ±1.0μm以下 |
ウシオが長年培った技術に、独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハを、マスクと接触せずに一括露光することが可能。広い焦点深度を用いることで、平らでないウェハに対する露光も実現しています。プロキシミティアライナーにはない高生産性、高歩留りが魅力です。
露光方式 | ステッパー |
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波長 | i線 |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | 2μmL/S〜 |
重ね合わせ精度 | ±1.0μm以下 |
長年培ってきた光源・光学技術に、独自に開発した大面積の投影レンズ、パネルサイズに対応するステージを搭載したパッケージ基板向けのステッパー。ウシオのパテント技術である「TTL非露光方式波長アライメント」による、鮮明なマークでの高精度なアライメントが可能です。
露光方式 | コンタクトプロキシミティ |
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波長 | i線 |
光源 | 水銀ランプ |
解像力 | 1μmL/S〜 |
重ね合わせ精度 | ±1.0μm以下 |
ウシオ電機の光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。世界的なシェアを誇る超高圧UVランプを搭載しており、ihg線だけでなく、Deep UV波長帯域にも対応しています。MEMS、水晶振動子、SAWフィルタ、RFデバイス、センサー、インジェットヘッド、ダイオードなど、さまざまな用途に適しています。
露光方式 | ロールtoロール投影露光 |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 超高圧UVランプ |
解像力 | 4μmL/S~ |
重ね合わせ精度 | ±7μm |
累積800台以上の市場実績がある、フレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップです。世界シェアNo.1の超高圧UVランプを搭載しています。高い均一度を誇る独自の照射光学系、他に類を見ない大面積投影レンズも搭載しています。
露光方式 | コンタクトプロキシミティ |
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波長 | 公式HPに記載なし |
光源 | 超高圧UVランプ |
解像力 | 1μmL/S~ |
重ね合わせ精度 | ±1μm以下 |
ウシオ電機が長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。最高解像度ラインアンドスペース=1um(真空ハードコンタクト)を達成しています。非接触の露光方式の1つ「プロキシミティ露光」においても20umGap時ラインアンドスペース3umの高解像力を実現しています。高いステージ平坦性、Gap安定性で線幅安定性に優れた露光装置です。
ウシオ電機の露光装置の特徴は、性能(解像力、重ね合わせ精度、生産性)やコストなど、多様化するニーズに合わせた露光方式を提供している点。コンタクト・プロキシミティ露光装置や 一括投影露光装置、分割投影露光装置といった露光装置をはじめ、歩留まり向上・生産性向上のためのオプションも充実。
開発・少量試作から、月産数万枚規模の量産にまで対応するさまざまなラインナップがあるので、量産向け、および開発・MEMSファウンドリー向け、どちらをお探しの方にもおすすめです。
光の干渉では光の強弱が生まれます。その強弱を露光のパターニングをしているのが特徴です。波面を高精度に制御し、露光の精度を高めた結果、波長と同程度のオーダーで微細パターンを作成できます。
メカ技術では、nmオーダーの停止安定性、位置決め精度を制御できます。そのため、高精度の露光を実現しているのが特徴です。
光学系を傾ければ斜め構造も作れます。自由度が高いのに安定しているため、多種多様な表現ができるのが強みです。
ウェーハの回転角度を変えつつ露光を精密に実施できます。ドットパターン作成が可能で、ウェーハの回転角度を変えれば、四角形、六角形のアレイも作れます。
二光束干渉露光を使って、波長オーダーのサブミクロンパターニングが可能。150nmのピッチ程度まで対応できます。
スラップ&リピート露光にある露光境界を完全に消せる技術です。目視でもシームレスなパターニングは、φ8inch全面に露光できます。
パターニングは、集中深度換算nmオーダーで行えます。平面度や平坦度の制約以上の加工が可能です。
ピッチ150nm以上の周期構造を、様々な基盤にパターニングできます。ライン幅はピッチに対し30%~50%。パターンの高さも200nmまで対応できます。ウエーハの対応材は、Si、石英、各種成膜基盤、貼り合わせ基盤など幅広く対応可能です。
1964年の創業以来、光を「明かり」としてだけでなく、「エネルギー」として利用・応用し、新しい光市場を創出しているメーカーです。
ハロゲンランプや放電ランプなど、多種多彩なランプをはじめ、独自の光技術で光応用装置や光のシステムを開発。「光の専門メーカー」「光のプロフェッショナル集団」として、世界中に高品質・高付加価値製品を届けています。東京千代田区を拠点に、国内各地に事業所・研究所を持つほか、北米、欧州、アジア各地にも拠点を展開※。光応用製品から産業機械まで、さまざまな業界でグローバルな事業を行い、光の可能性を追求し続けています。
※2021年8月時点、公式サイトより(https://www.ushio.co.jp/jp/company/office/)
社名 | ウシオ電機株式会社 |
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本社所在地 | 東京都千代田区丸の内1-6-5 |
営業時間 | ※公式HPに記載なし |
電話番号 | 03-5657-1000(大代表) |
公式HPのURL | https://www.ushio.co.jp/jp/ |
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